IR on Eco-Friendly Warm IR Heaters

IRランプ用アルミニウム反射板

Mon, 27 Jul 2026 17:11:56 +0800

揮発性化学物質を使って清掃するときの安全性の確保
正直言って、赤外線ランプを化学物質のある場所に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、また、触れるものすべてを腐食させる性質のある物質も存在します。普通のランプをその場所に設置してしまうと、まず間違いなく事故が起こります。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Sun, 19 Jul 2026 10:18:28 +0800

高精度なIR加熱を用いてウェーハ処理における二酸化炭素排出量を削減する
半導体製造の現場で働いたことがある人なら、熱の精度がいかに重要かを理解しているでしょう。長年にわたり、私たちはアニーリングや硬化処理のために大規模な抵抗式オーブンを利用してきましたが、正直なところ、これらはエネルギーを多く消費します。もし本当にカーボンニュートラルを実現したいのであれば、無駄な熱の発生を止める必要があります。
そこで役立つのがIR加熱ランプです。
その物理的仕組み
従来のオーブンの動作原理を考えてみましょう。まず空気が加熱され、それによってチャンバーが温められ、最終的にウェーハが温められます。これは非効率的です。一方、IR加熱は異なります。放射線を利用してウェーハ表面に直接熱を与えます。チャンバーの壁を無視してウェーハだけを加熱することで、時間を節約できるだけでなく、1回の処理で消費される電力も大幅に削減できます。これにより、二酸化炭素の排出量が減少します。当然のことです。
フィードバックが鍵です
しかし、ランプだけでは十分ではありません。それを制御するシステムの性能が重要です。
私たちは高精度なIRセンサーを使用して、ウェーハの表面温度をリアルタイムで監視します。これらのセンサーはPIDコントローラーと連携し、適切に出力を調整します。ウェーハの温度が予定より早く目標値に達した場合、システムは即座に出力を調整します。過剰な出力は防げます。
妥協点もあります
高強度のIRランプは非常に強力です。高い熱密度を持つため、ウェーハの加熱速度が非常に速くなります。その結果、1時間あたりに処理できるウェーハの数が増え、生産性が向上します。
しかし、欠点もあります。大量の熱がランプのハウジングに負担をかけます。冷却ファンやヒートシンクの設計を正確に行う必要があります。冷却が不十分だと、ランプが早期に壊れたり、センサーの精度が低下したりします。バランスを取る必要があります。
「グリーンファクトリー」に与える影響
大量の熱を使わないようにすれば、余分なエネルギーの消費が大幅に減少します。部屋全体を温めるのではなく、製品だけを温めることで、大きなメリットがあります。
最良な点は、ほとんどの既存の加熱装置と交換するだけで済むことです。電源がスイッチング時の負荷に耐えられれば、工場全体を改革することなく導入できます。

ファブIR用電圧レギュレータ

Sat, 20 Jun 2026 02:42:24 +0800

製造現場において、フォトレジストの焼成時に1°Cの温度変動があっても、それは「わずかな偏差」とは言えません。その結果、線幅のばらつきや不良品が発生します。IR加熱は精密に制御可能ですが、そのためにはIR光源に供給される電圧が十分に安定している必要があります。私たちは、この制約条件を満たすようにIR用の電圧調整器を開発しました。

フォトレジストソフトベーク温度 IR

Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800

リソグラフィフロアにおいて、ソフトベイクは単なるウォームアップではない。これはフォトレジストの溶剤プロファイルを設定し、膜厚を固定し、露光および現像に直結する寸法公差を形成する工程である。ベイクが不均一であれば、緩やかな変動にはならず、ライン幅のばらつき、サイドウォールのフットング、そして最も影響の大きいパラメトリックテストでの歩留まり低下が発生する。

IR on Eco-Friendly Warm IR Heaters

IRランプ用アルミニウム反射板

ウェーハ用高精度IRセンサー

ファブIR用電圧レギュレータ

フォトレジスト ソフトベーク温度 IR

フォトレジストソフトベーク温度 IR