http://warm-ir-heater-eco.com/ja/tags/%E8%A7%A3/ Recent content in 解 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 04:09:28 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/fab-plant-heating-solution/ Fri, 03 Jul 2026 04:09:28 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/fab-plant-heating-solution/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ファブ工場の加熱ソリューション"></p> <p>ファブの現場では、オーブンの設定値は単なる画面上の数値に過ぎません。実際に重要なのは、ウェーハ全体にわたってフォトレジストが経験する温度<a href="https://o-yate.com">条件</a>です。もし温度分布が<a href="https://o-yate.net">均一</a>でなくなると、CD制御も不安定になり、エッチングの条件も同様に悪化します。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、±0.1℃という高い精度でウェーハ全体の温度を制御する方式を採用しています。これにより、ソフトベークやハードベークのプロセスが一貫して正しく行われます。石英や炭素繊維強化材を使った短波・中波の赤外線により、迅速かつ安定した温度昇降が<a href="https://henruite.com">可能</a>であり、無駄な熱消費もありません。</p>