http://warm-ir-heater-eco.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 03:01:30 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/ensuring-explosion-proof-safety-for-ir-heating-lamps-in-chemical-wafer-cleaning-environments/ Tue, 28 Jul 2026 03:01:30 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/ensuring-explosion-proof-safety-for-ir-heating-lamps-in-chemical-wafer-cleaning-environments/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>化学的に不安定な物質を赤外線ヒーターと一緒に使用するのは、明らかに危険な行為です。つまり、プロセスの途中で発火のリスクが高くなってしまいます。</p> <p>私たちはこの問題を解決する<a href="https://henruite.com">方法</a>を見つけました。すべてが露出しているような設計の代わりに、全体を密閉した構造にしています。</p> http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="フォトレジスト ソフトベーク温度 IR"></p> <p>リソグラフィフロアにおいて、ソフトベイクは単なるウォームアップではない。これはフォトレジストの溶剤プロファイルを設定し、膜厚を固定し、露光および現像に直結する寸法公差を形成する工程である。ベイクが不<a href="https://o-yate.net">均一</a>であれば、緩やかな変動にはならず、ライン幅のばらつき、サイドウォールのフットング、そして最も影響の大きいパラメトリックテストでの<a href="https://henruite.com">歩留</a>まり低下が発生する。</p>