http://warm-ir-heater-eco.com/ja/tags/%E4%BA%88%E5%82%99%E9%83%A8%E5%93%81/ Recent content in 予備部品 on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:32:38 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/professional-fab-equipment-spares/ Wed, 24 Jun 2026 01:32:38 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/professional-fab-equipment-spares/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="プロフェッショナル向けのファブ装置用スペアパーツ"></p> <p>実際の工程においては、フォトレジストは理論など気にしません。90℃で行うソフトベイクの際、温度が0.5度だけ変動しても、ウェーハ全体の厚みにばらつきが生じます。その結果、露光の精度が低下します。その代償として、スクラップや再工程が発生し、設備の稼働効率も悪くなります。</p>