http://warm-ir-heater-eco.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 04:06:17 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 04:06:17 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="フォトレジスト硬化用赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィ工程においては、よく知られていることですが、ソフトベイクやハードベイクの際にウェハが半度ほどずれてしまうと、オーバーレイマージンや線幅の制御が困難になります。単に設定値を調整するだけでは、良品率を確保することはできません。サイクルごとに信頼できる<a href="https://henruite.com">熱的均一性</a>が必要です。</p> http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 02:01:33 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="フォトレジスト焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイクの際に半度程度のずれがあっただけで、パターンの寸法はナノメートル単位で変化してしまいます。このようなずれは、再作業や廃棄処理、そして規格範囲を逸脱する結果を招きます。私たちは、熱的特性を安定させるために、フォトレジストを加熱するランプを特別に設計しました。</p> http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="フォトレジスト ソフトベーク温度 IR"></p> <p>リソグラフィフロアにおいて、ソフトベイクは単なるウォームアップではない。これはフォトレジストの溶剤プロファイルを設定し、膜厚を固定し、露光および現像に直結する寸法公差を形成する工程である。ベイクが不<a href="https://o-yate.net">均一</a>であれば、緩やかな変動にはならず、ライン幅のばらつき、サイドウォールのフットング、そして最も影響の大きいパラメトリックテストでの<a href="https://henruite.com">歩留</a>まり低下が発生する。</p>