http://warm-ir-heater-eco.com/ja/tags/%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%AA%E3%83%BC/ Recent content in トロリー on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="半導体クリーンルーム用トロリーヒーター"></p> <p>製造現場では、トロリーヒーターの熱変動は大きな問題としては扱われません。それは、フォトレジストを焼成する際に0.3℃程度の偏差として現れるだけです。そして、その結果、ウェーハの線幅にも偏差が生じ、それを解消するのに1週間もかかってしまいます。私たちは、クリーンルーム用のトロリーヒーターを設計する際、熱変動を適切な範囲内に抑えるようにしています。つまり、プロセスの許容範囲内に留めておくのです。</p>