http://warm-ir-heater-eco.com/ja/tags/%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%BC/ Recent content in コーター on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="スピンコーター用ベイクランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、ベイク処理は単なるウォームアップではありません。これはフォトレジストの特性を定めるための重要な工程です。ソフトベイクでもハードベイクでも、2℃程度の温度変動があると、寸法制御が乱れ、ライン上に汚れが残ってしまいます。スピンコーター用のベイクランプの役割は、分単位でプロセス温度を安定して維持することです。</p>