http://warm-ir-heater-eco.com/ja/tags/%E3%81%99%E3%81%99%E3%81%90/ Recent content in すすぐ on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo ja Mon, 27 Jul 2026 16:57:27 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/maximizing-radiative-heat-flux-in-wafer-rinse-processes-via-gold-coated-ir-reflectors/ Mon, 27 Jul 2026 16:57:27 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/ja/posts/maximizing-radiative-heat-flux-in-wafer-rinse-processes-via-gold-coated-ir-reflectors/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="すすぎ用の防水赤外線ランプ"></p> <h1 id="ウェーハの加熱を適切に行うためにエネルギーを無駄にしない方法">ウェーハの加熱を適切に行うために（エネルギーを無駄にしない方法）</h1> <p>シリコンウェーハの洗浄処理を行う際、バランスを取るのが難しい。表面を乾かしつつ高温に保つ必要があるが、チャンバー全体をオーブンのようにしてしまったり、過度な電力を消費したくはないのだ。 私たちは、防水仕様のIRランプと金メッキされた反射板を組み合わせることでこれを解決している。なぜそれが重要かというと、以下の理由からだ。</p>