Sensore di temperatura per strumento a wafer

Tue, 28 Jul 2026 03:01:30 +0800

Come evitare che gli strumenti per il trattamento delle lastre chimiche esplodano
Siamo onesti: mescolare sostanze chimiche volatili e infiammabili con una lampada a riscaldamento a infrarossi è un modo sicuro per causare disastri. In pratica, si crea un punto di ignizione ad alto rischio proprio nel mezzo del processo di lavorazione.

Abbiamo trovato un modo per risolvere questo problema. Invece di utilizzare dispositivi con elementi esposti, avvolgiamo l’intero dispositivo in un rivestimento ermetico.

Temperatura di preriscaldamento morbido del fotoresist _con IR

Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800

Sulla linea di litografia, il soft bake non è una semplice fase di riscaldamento. È il passaggio che definisce il profilo del solvente nel photoresist, fissa lo spessore del film e imposta le tolleranze dimensionali che si riflettono direttamente nelle fasi di esposizione e sviluppo. Quando la cottura è irregolare, non si ha una variazione graduale. Si ottengono variazioni nella larghezza delle linee, formazione di piedini sulle pareti laterali e una riduzione della resa che si manifesta esattamente dove è più critica: nel test parametrico.
Le piastre riscaldanti convenzionali possono mascherare le non uniformità con tempi di soak prolungati, ma i wafer continuano a cambiare. La densità del pattern varia, l’altezza degli strati cambia e i substrati diventano sempre più sottili — ognuno di questi fattori modifica il carico termico. Il riscaldamento a infrarossi, se progettato per le esigenze dei semiconduttori, mette a nudo queste variazioni. Fornisce calore esattamente dove serve — rapidamente e con un controllo ripetibile.

Temperatura on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Sensore di temperatura per strumento a wafer

Temperatura di preriscaldamento morbido del fotoresist _con IR