Riscaldatore di supporto per sistema criogenico

Sun, 28 Jun 2026 02:11:53 +0800

Nelle linee di produzione, la stabilità della temperatura non è soltanto un vantaggio, ma è addirittura una condizione fondamentale per il corretto svolgimento dei processi. Nella fase di essiccazione dei wafer e nel trattamento del fotoresisto, anche una variazione di pochi decimi di grado può influenzare negativamente le dimensioni critiche dei componenti, causando la formazione di residui o difetti sulla superficie dei wafer. Per questo motivo, abbiamo progettato dei riscaldatori criogenici in grado di mantenere un profilo termico preciso proprio nei punti in cui il substrato entra in contatto con i dispositivi di lavorazione.

Lampada a infrarossi _con supporto in molibdeno

Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800

Sul piano wafer, una cottura del photoresist non è solo una fase di temperatura, ma un contratto termico. Uno scostamento di 1°C nella soft bake o hard bake sposterà le dimensioni critiche e influirà sul rendimento delle linee. Abbiamo progettato la lampada a infrarossi supportata da molibdeno per mantenere stabile quella linea termica, ciclo dopo ciclo.

Cosa conta, tecnicamente
L’emettitore utilizza infrarossi a onde corte per un riscaldamento rapido e direzionale che rimane all’interno del budget termico del photoresist. Le strutture di supporto in molibdeno garantiscono stabilità ad alta temperatura con bassa emissione di gas, mantenendo basso il numero di particelle anche in cleanroom di classe 1–100. Il sistema punta a un’uniformità a livello wafer entro ±0,1°C sulla superficie di cottura, e la ripetibilità è specificata per mantenere il punto di set stabile e preciso. La potenza emessa resta stabile su lunghi cicli: unità in campo hanno accumulato oltre 5.000 ore con un calo inferiore al 5%.

Supporto on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Riscaldatore di supporto per sistema criogenico

Lampada a infrarossi _con supporto in molibdeno