Lampada per asciugatura di semiconduttori organici

Tue, 02 Jun 2026 04:14:08 +0800

On the lithography floor, non c’è molto margine di manovra tra soft bake e hard bake. Una variazione di mezzo grado può modificare lo spessore del photoresist, spostare il bias della dimensione critica e improvvisamente la resa non è più conforme alle specifiche. Abbiamo sviluppato una lampada per l’asciugatura di semiconduttori organici per restringere questa finestra e mantenere stabile il processo.

Cosa conta sotto il cofano
Irradia il wafer con NIR e mantiene lo spettro sotto controllo, garantendo un riscaldamento rapido e senza contatto. Su tutto il campo di esposizione, l’uniformità termica a livello wafer si mantiene entro ±0,1°C—ogni die riceve lo stesso budget termico. Funziona in cleanroom Class 1–100 senza rilasciare particelle e l’output rimane stabile per oltre 5.000 ore, con un calo inferiore al 5%. La ripetibilità della temperatura di cottura del photoresist da ciclo a ciclo è affidabile e il sistema opera 24/7 senza fermi imprevisti.

Organico on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Lampada per asciugatura di semiconduttori organici