Lampada a infrarossi _con supporto in molibdeno

Sat, 06 Jun 2026 01:44:27 +0800

Sul piano wafer, una cottura del photoresist non è solo una fase di temperatura, ma un contratto termico. Uno scostamento di 1°C nella soft bake o hard bake sposterà le dimensioni critiche e influirà sul rendimento delle linee. Abbiamo progettato la lampada a infrarossi supportata da molibdeno per mantenere stabile quella linea termica, ciclo dopo ciclo.

Cosa conta, tecnicamente
L’emettitore utilizza infrarossi a onde corte per un riscaldamento rapido e direzionale che rimane all’interno del budget termico del photoresist. Le strutture di supporto in molibdeno garantiscono stabilità ad alta temperatura con bassa emissione di gas, mantenendo basso il numero di particelle anche in cleanroom di classe 1–100. Il sistema punta a un’uniformità a livello wafer entro ±0,1°C sulla superficie di cottura, e la ripetibilità è specificata per mantenere il punto di set stabile e preciso. La potenza emessa resta stabile su lunghi cicli: unità in campo hanno accumulato oltre 5.000 ore con un calo inferiore al 5%.

Molibdeno on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Lampada a infrarossi _con supporto in molibdeno