Regulator tegangan untuk fab IR

Sat, 20 Jun 2026 02:42:25 +0800

Di lantai pabrik, perubahan suhu sebesar 1°C selama proses pemanasan fotoresist bukanlah angka yang “kecil”. Perubahan tersebut akan berdampak pada lebar garis gambar yang tidak seragam, adanya kotoran pada permukaan wafer, serta peningkatan jumlah limbah. Pemanasan menggunakan sinar inframerah dapat dilakukan dengan akurat, tetapi hanya jika tegangan yang mengalir ke sumber inframerah cukup stabil agar efek termalnya tetap terkendali. Kami merancang regulator tegangan inframerah yang sesuai dengan kondisi tersebut.

Yang penting secara teknis:
Kami berusaha mencapai keseragaman suhu sebesar ±0,1°C di seluruh permukaan wafer, dengan cara menjaga energi masuk inframerah tetap stabil dalam rentang toleransi yang ketat. Dengan demikian, fluktuasi suhu akibat faktor-faktor eksternal tidak akan mempengaruhi suhu maksimum yang dihasilkan. Regulator ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, karena bahan dan finishingnya mampu mengurangi pembentukan partikel hingga mendekati nol. Proses pemanasan yang dilakukan pun tetap konsisten, karena kontroler dapat mengompensasi fluktuasi tegangan sebelum ia sampai ke emitor. Alat ini dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan termal, dan masa pakainya bisa mencapai lebih dari 5.000 jam dengan penurunan performa kurang dari 5%.

Regulator on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Regulator tegangan untuk fab IR