Lampu inframerah untuk pengeringan photoresist
Di proses litografi, Anda tentu tahu bahwa setiap penyimpangan sebesar setengah derajat saat proses pemanasan berlangsung akan berdampak negatif pada...
Suhu pemanggangan lunak photoresist IR
Di lantai litografi, soft bake bukan sekadar pemanasan awal. Ini adalah tahap yang mengatur profil pelarut photoresist, mengunci ketebalan film, dan...