Pabrik pemanas buatan Tiongkok

Thu, 18 Jun 2026 01:39:31 +0800

Di fasilitas manufaktur, perubahan suhu sebesar 1°C di oven pengeringan wafer bukanlah hal yang sepele. Hal tersebut berdampak negatif pada kualitas produk yang dihasilkan. Proses pengeringan wafer, pemanasan awal fotoresist, serta proses pengerasan setelah eksposur semuanya membutuhkan kontrol suhu yang tepat. Itulah mengapa kami membangun sistem pemanas di Cina: untuk membuat pemanas berbasis gelombang inframerah pendek yang dirancang khusus untuk kontrol proses semikonduktor, bukan untuk tujuan pemasaran.

Yang penting secara teknis:
Modul IR kami mampu menciptakan keseragaman suhu pada permukaan wafer hingga ±0,1°C, dengan tingkat repetibilitas setpoint sebesar ±0,2°C. Kecepatan pemanasan yang tinggi membantu mengurangi fluktuasi suhu, sementara tidak adanya partikel debu menjaga tingkat kebersihan ruang kerja tetap stabil dalam kondisi kelas 1–100.Elemen kuarsa-halogen memberikan output spektral yang stabil, sehingga penyerapan cahaya oleh fotoresist tetap konsisten. Selain itu, bodi pemanas ini kompatibel dengan sistem vakum dan gas inert. Kekuatan pemanas disesuaikan sesuai dengan massa termal substrat, bukan berdasarkan ukuran bodi pemanas itu sendiri. Dengan demikian, proses produksi akan mendapatkan suhu yang stabil, bukan suhu yang berasal dari alat pemanasnya.

Dibuat on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Pabrik pemanas buatan Tiongkok