Di fasilitas produksi, perubahan suhu sebesar 0,5°C selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk merusak seluruh produk yang diproses. Kita membutuhkan sumber panas yang dapat diandalkan, bukan sesuatu yang bersifat spekulatif. Kami telah menciptakan lampu pemanas yang kompatibel dengan standar TEL; lampu ini berfungsi dengan baik dan mampu mengontrol suhu secara akurat, terutama ketika prosesnya dilakukan dalam skala nanometer.
Apa yang ada di baliknya?
Kami menggunakan elemen inframerah berfrekuensi tinggi serta komponen kuarsa berkualitas tinggi, sehingga responsnya cepat tanpa menimbulkan gangguan pada proses produksi. Di permukaan pemanasan, keseragaman suhu pada setiap wafer tetap terjaga dalam kisaran ±0,1°C—hal ini sangat penting untuk proses pemanasan yang membutuhkan kontrol suhu yang presisi.
Keluaran lampu tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan intensitas cahaya kurang dari 5%. Lampu ini dapat beroperasi dengan tegangan standar, cocok digunakan dalam modul lampu yang umum digunakan, dan mampu menjaga kualitas udara di ruang kerja sesuai standar klaster bersih kelas 1–100.
Mengapa hal ini penting dalam proses litografi?
Dalam proses litografi, suhu pemanasan sangat penting untuk mengontrol ketepatan ukuran dan mengurangi jumlah cacat pada produk. Lampu ini memastikan bahwa profil suhu tetap konstan antar batch produksi, sehingga mengurangi kebutuhan akan pemrosesan ulang dan meningkatkan tingkat kelulusan produk. Efisiensi lampu ini berasal dari kemampuan penghantaran inframerah yang baik serta tingkat lost energi yang rendah. Umur pakai lampu yang panjang juga mengurangi kebutuhan akan stok cadangan dan biaya pemeliharaan. Hasilnya adalah proses produksi yang lebih efisien, lebih sedikit hambatan dalam proses produksi, dan perilaku fotoresist yang dapat diprediksi.
Apa yang perlu dilakukan dengan benar?
Pemasangan lampu memerlukan penyesuaian pada bagian mekanis dan kabel penghubungnya, agar jalur optik tetap sejajar dengan standar yang ditentukan. Lampu ini merupakan pengganti yang cocok untuk platform TEL yang ditentukan. Namun, sebelum menggantinya, pastikan geometri ruang produksi dan firmware kontrolnya sesuai, agar kompatibilitasnya terjamin.