Berhentilah memanaskan mesin tersebut, mulailah mengeringkan wafernya saja. Jika Anda pernah bekerja di bidang fabrikasi MEMS, pasti Anda tahu betapa sulitnya proses pengeringan wafer. Kita harus terus-menerus berjuang melawan sisa-sisa zat yang menempel pada permukaan wafer.
Cara lama, yaitu menggunakan oven konveksi biasa, ternyata tidak efektif. Metode ini menyebabkan seluruh bagian ruangan menjadi panas. Hal ini merupakan pemborosan energi, dan juga membuat permukaan peralatan menjadi sangat panas. Tidak jarang dinding mesin menjadi begitu panas sehingga bisa melukai orang yang berada di sekitarnya.
Itulah sebabnya kami beralih ke metode pemanasan dengan sinar inframerah terarah. Inilah triknya: Alih-alih memanaskan udara, kita menggunakan lampu inframerah untuk mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan wafer. Kita menggunakan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek, karena sinar ini dapat menembus lapisan cairan di permukaan wafer lebih cepat daripada sinar inframerah berpanjang gelombang panjang.
Dengan cara ini, wafer akan mendapatkan panas yang dibutuhkannya, sementara bagian lain dari mesin tetap dingin. Namun, kita tidak bisa sembarangan mengarahkan lampu tersebut. Kita perlu mengatur fokus sinar agar tidak ada panas yang berserakan dan merusak peralatan.
Hasilnya? Suhu permukaan alat tetap rendah. Para teknisi pun dapat bergerak bebas di area pabrik tanpa khawatir terbakar. Tapi, ini bukanlah solusi sempurna. Ada beberapa hal yang perlu diperhatikan. Lampu inframerah berintensitas tinggi memang sangat efektif untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi lampu ini membutuhkan daya yang besar. Selain itu, letak lampu juga perlu dipastikan tepat. Jika lampu sedikit saja menyimpang, maka akan timbul titik-titik panas di permukaan wafer.
Selain itu, kita juga perlu memastikan bahwa kipas pendingin berfungsi dengan baik. Jika sistem pendinginan lampu tidak berfungsi dengan baik, maka bohlam lampu akan cepat rusak. Pada akhirnya, yang penting adalah bekerja sesuai dengan prinsip fisika, bukan melawannya. Mengapa harus menghabiskan energi untuk mendinginkan mesin yang sudah panas, padahal kita bisa saja berhenti memanaskannya saja?