स्पिन कोटर बेक लैंप

Tue, 30 Jun 2026 02:12:20 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “बेक” करना केवल तापमान बढ़ाने हेतु नहीं किया जाता; इसका उद्देश्य फोटोरेजिस्ट की संरचना को निर्धारित करना है।
“सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” में 2°C का अंतर भी महत्वपूर्ण आयामों पर प्रभाव डाल सकता है, एवं लाइनों पर अशुद्धियाँ भी छोड़ सकता है। स्पिन कोटर बेक लैम्प का एकमात्र कार्य है – प्रक्रिया के दौरान तापमान को हर समय स्थिर रखना।

क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज आवरण वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हैलोजन एमिटरों का उपयोग करते हैं; क्योंकि ये तेजी से प्रतिक्रिया देते हैं एवं स्थिर रहते हैं। इससे हॉटप्लेट पर तापमान ±0.1°C के भीतर स्थिर रहता है, एवं फोटोरेजिस्ट के तापमान पर भी नियंत्रण रहता है।
क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का ध्यान डिज़ाइन में ही रखा गया है – कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया जाता है, एवं कणों पर भी नियंत्रण रखा जाता है। “शून्य कण उत्पन्न होना” कोई नारा नहीं, बल्कि मूलभूत मानदंड है।
यह सिस्टम 24/7 चलता रहता है, एवं बंद-लूप नियंत्रण के कारण लाइन वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ाव एवं लैम्प के वृद्ध होने का प्रभाव कम हो जाता है।

फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक तापमान IR

Sun, 31 May 2026 02:55:23 +0800

लिथोग्राफी फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक कोई वार्म-अप लैप नहीं है। यह वह चरण है जो फोटोरेसिस्ट सॉल्वेंट प्रोफाइल निर्धारित करता है, फिल्म की मोटाई लॉक करता है, और आयामिक सहिष्णुता लिखता है जो सीधे एक्सपोजर और डेवलपमेंट में जाती है। जब बेक असमान होता है, तो आपको धीरे-धीरे बदलाव नहीं मिलता। आपको लाइन-विथ में भिन्नता, साइडवाल फुटिंग, और एक यील्ड हिट मिलता है जो सीधा उस जगह पर दिखता है जहां सबसे अधिक प्रभाव पड़ता है—पैरामीट्रिक टेस्ट।

बेक करने का अर on Eco-Friendly Warm IR Heaters

स्पिन कोटर बेक लैंप

फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक तापमान IR