זמן העיבוד: למה חימום באמצעות אינפרא-אדום עדיף על חימום באמצעות אוויר חם
אם אתם עוסקים בעיבוד שבבים מתקדם, אתם יודעים שכל שנייה שמתבזבזת פירושה כסף שנעלם. רבים מתחילים בשימוש באוויר חם, אך אם אתם רוצים באמת לקצר את זמן העיבוד, עליכם לשקול שימוש בחימומים באמצעות אינפרא-אדום שמתאימים לתנאי ואקום.
הבעיה עם חימום באמצעות אוויר חם היא שהוא דורש מדיום של גז כדי להעביר את החום לשבב. אך בוואקום? אין אוויר. אי אפשר להעביר חום למשהו שלא קיים שם. זו דרך חסרת תועלת.
הפתרון – חימום באמצעות אינפרא-אדום
כאן נכנסים לתמונה חימומים באמצעות אינפרא-אדום. במקום לחכות שהאוויר יתחמם, חימומים אלו משתמשים בקרינה אלקטרומגנטית. הפוטונים פוגעים ישירות בשבב.
זה מהיר מאוד. אתם לא מבזבזים זמן על חימום כל האוויר בתוך החדר. במקום לחכות דקות עד שהטמפרטורה תעלה, זמן ההתחממות יורד לשניות בלבד. השבבים מגיעים לטמפרטורה הרצויה כמעט מיד, וכך עולה קצב העיבוד.
שמירה על ניקיון
אי אפשר פשוט להשתמש בכל חימום בתנאי ואקום. חימומים רגילים עלולים לדלוף או לפלוט גזים, מה שמהווה בעיה בחדרים נקיים.
אנו מטפלים בבעיה הזו על ידי שימוש במעטפות קוורץ מיוחדות שעמידות ללחץ ואקום. אנו גם משתמשים בחומרים בעלי טוהר גבוה, שלא יפלטו עשן או חלקיקים כשהם נחממים. כך נשמר הוואקום יציב והשבבים נשארים נקיים.
החסרונות (כי שום דבר אינו מושלם)
אני לא אומר שחימום באמצעות אינפרא-אדום הוא פתרון מושלם. מכיוון שהעברת האנרגיה קורית במהירות, קל מאוד לחרוג מהטמפרטורה הרצויה אם מערכת הבקרה אינה מדויקת.
יהיה עליכם להשתמש בתרמוקפלים או פירומטרים בעלי תגובה מהירה כדי לשמור על הטמפרטורה הרצויה. כמו כן, יש להקפיד על מערכת הקירור – אם היא לא מספיק טובה, החום עלול לחדור לקירות החדר ולפגוע בקריאות החיישנים.
אך כשמשתמשים במערכת בקרה מדויקת, היתרונות הם עצומים. ניתן להשיג גרדיאנטים תרמיים מדויקים יותר, וכך ניתן להקטין את גודל הציוד. כך ניתן להיפטר מהמאווררים הגדולים ומהצינורות המסורבלים, ולקבל יותר מקום במעבדה.