Solution de chauffage pour usine de fabrication

Fri, 03 Jul 2026 04:09:28 +0800

Sur le site de fabrication, la valeur cible de température du four n’est rien d’autre qu’un nombre affiché à l’écran. Ce qui compte vraiment, c’est ce que subit réellement le photorésiste, de bord en bord, sur toute la surface de la puce. Si la homogénéité thermique varie, le contrôle de la largeur des motifs obtenus devient difficile, et les effets négatifs sur le processus d’incision s’en suivent inévitablement.

Ce qui est important du point de vue technique Nous avons conçu ce système de chauffage pour permettre un contrôle de la température au niveau de la puce, avec une homogénéité de ±0,1 °C. Ainsi, les processus de chauffage doux et dur se déroulent de manière régulière, sur toute la surface de la puce. Les ondes infrarouges de courte et moyenne longueur d’onde, transmises par des éléments en quartz ou en fibre de carbone, permettent des rampes de température rapides et stables, sans pour autant dépassement du budget thermique autorisé.

Solution on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Solution de chauffage pour usine de fabrication