Comment éviter que vos outils à wafer chimiques ne explosent
Soyez honnête : mélanger des produits chimiques volatils et inflammables avec une lampe de chauffage infrarouge, c’est un véritable appel à la catastrophe. En fait, vous avez là un point d’ignition à haut risque, situé juste au milieu du processus de fabrication.
Nous avons trouvé une solution pour résoudre ce problème. Au lieu d’utiliser des dispositifs dont les composants sont exposés, nous enveloppons tout l’appareil dans un revêtement étanche.
Comment rendre cet appareil sûr
Les lampes infrarouges standard échouent généralement dans des environnements chimiques, car leurs terminaux électriques et leurs points de fermeture présentent trop de fuites. Les vapeurs pénètrent alors à l’intérieur de l’appareil, ce qui provoque des problèmes.
Pour éviter cela, nous utilisons une approche en deux étapes. D’abord, nous insérons la lampe dans un manchon en saphir ou en quartz résistant aux produits chimiques. Ensuite, nous utilisons des composants résistants à haute température et résistants aux explosions pour protéger les connexions électriques.
C’est simple : nous empêchons l’apparition de étincelles avant même qu’elles ne puissent se produire. Nous veillons également à ce que ces revêtements résistent aux agents de nettoyage corrosifs utilisés, afin que l’appareil ne s’endommage pas après quelques mois d’utilisation intensive.
Gérer la chaleur
Vous pourriez penser que toutes ces protections réduisent la densité thermique de l’appareil. Ce n’est pas le cas. Nous avons pris le temps d’ajuster l’épaisseur du revêtement afin que les rayonnements infrarouges continuent d’atteindre le wafer, sans être absorbés par le manchon.
Mais il y a un problème : il faut tenir compte du retard thermique causé par cette couche de protection. L’ajout de cette couche augmente la masse de l’appareil. Cela signifie que les paramètres de régulation de la température ne fonctionneront plus de la même manière. Si vous remplacez ces lampes dans un équipement existant, ne copiez pas simplement les paramètres anciens. Vous risquez de dépasser la température cible pendant la phase de démarrage. Prenez donc le temps de recalibrer la courbe de température.
Intégration dans votre système
Ces lampes ont été conçues pour être des remplacements directs. Comme la protection est intégrée directement à la lampe, vous n’avez pas besoin de construire un boîtier étanche géant autour de l’appareil. Cela permet de garder l’espace de travail propre et compact. Vérifiez simplement que le câblage est adapté à la zone de salle blanche concernée, et vous êtes prêt à l’emploi.