http://warm-ir-heater-eco.com/fa/tags/%D8%A7%DB%8C%D8%B1%D8%AA%D9%84/ Recent content in ایرتل on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo fa Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:22 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="دمای پخت نرم فوتورزیست IR"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، سافت بیک مرحله‌ای برای گرم کردن اولیه نیست. این مرحله تعیین‌کننده پروفایل حلال فوتورزیست، تثبیت ضخامت فیلم و ثبت تلرانس‌های ابعادی است که مستقیماً به مرحله اکسپوژر و توسعه منتقل می‌شوند. در صورت پخت نامتوازن، تغییر آرامی رخ نمی‌دهد، بلکه تغییر عرض خطوط، ایجاد پایه در دیواره جانبی و کاهش بازدهی که در آزمون‌های پارامتری به وضوح دیده می‌شود، بروز می‌کند.</p> <p>صفحات گرم‌کن سنتی می‌توانند با زمان‌های خیساندن طولانی عدم یکنواختی را پنهان کنند، اما ویفرها به طور مداوم تغییر می‌کنند. چگالی الگو، ارتفاع لایه‌ها و ضخامت زیرلایه‌ها تغییر می‌کند که هرکدام بار حرارتی را جابجا می‌کند. گرمایش مادون قرمز، زمانی که برای کاربردهای نیمه‌هادی طراحی شده باشد، این ماسک را کنار می‌زند. این روش گرما را سریع و با کنترل تکرارشونده دقیق در محل مورد نیاز اعمال می‌کند.</p>