نگهداری ویفرها در حالت تمیز: حقیقت درباره گرمایش
اگر در یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ کار میکنید، قطعاً با مشکلات ناشی از وجود ذرات معدنی آشنا هستید. حتی یک تکه کوچک فلز یا مقدار کمی گاز ناشی از عناصر گرمایشی ارزانقیمت، میتواند باعث کاهش کیفیت ویفرها شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
به همین دلیل، از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز مرغوب استفاده میکنیم.
میتوانید پوشش کوارتز را مانند یک محافظ در نظر بگیرید؛ این پوشش، رشتههای گرمایشی را در خود نگه میدارد، بنابراین هیچ احتمالی برای رسیدن ذرات معدنی به سطح ویفر وجود ندارد. شما میتوانید گرمای مورد نیاز خود را دریافت کنید، بدون اینکه مواجه با آلودگی شوید.
چرا کوارتز مصنوعی؟
دلیل استفاده از کوارتز مصنوعی، توانایی این ماده در مقاومت در برابر تنشهای حرارتی است. کوارتز مصنوعی در دماهای بالا تغییر شکل چندانی نمیدهد، و اجازه میدهد تا تشعشعات IR کوتاهموج از میان آن عبور کنند.
در داخل این لوله، رشتههای تنگستنی در یک چرخه کنترلشده فعالیت میکنند؛ این روش باعث میشود لوله در طول زمان تیره نشود. از آنجایی که شیشه همچنان شفاف باقی میماند، جریان گرما در سراسر ویفر یکنواخت خواهد بود؛ بنابراین هیچ نقطه سردی وجود نخواهد داشت.
تنظیم میزان گرما
بسته به فضای موجود، میتوانیم میزان وات و ولتاژ لامپها را تنظیم کنیم تا مناسب سیستم شما باشد.
اگر از خطوط تولید با توان بالا استفاده میکنید، احتمالاً به لامپهایی با وات بالا نیاز دارید؛ این لامپها به سرعت گرم میشوند. میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز برسید، که این امر باعث ادامه فرآیند تولید میشود.
اما نکته مهم این است که تمام این گرمای تمرکزی باید به جایی برود؛ اگر فنهای خنککننده یا سیستمهای آبی مناسبی نداشته باشید، گرما در اطراف لوله تجمع خواهد کرد. اگر این موضوع را نادیده بگیرید، قطعات شما زودتر خراب خواهند شد.
نصب لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند به راحتی جایگزین لامپهای فعلی شوند.
اتصال بین کوارتز و سیمها به صورت دربسته انجام شده است؛ این کار برای جلوگیری از ورود هوا و حفظ پایداری گاز هالوژن در داخل لوله انجام شده است. این روش باعث بهبود عملکرد لامپ میشود.
یک نکته مهم برای زمان نصب لامپها: حتماً تماسهای الکتریکی را تمیز نگه دارید؛ اگر روی تماسها اکسیداسیون وجود داشته باشد، باعث ایجاد نقاط گرم خواهد شد؛ این امر باعث خراب شدن سریع لامپ خواهد شد. همچنین، لطفاً به ولتاژ مشخص شده توجه کنید؛ فشار بیشتری روی رشتههای گرمایشی اعمال نکنید.