Secador de obleas de calentamiento uniforme

Tue, 09 Jun 2026 01:30:44 +0800

La oblea llega a la pista de giro, y el reloj empieza a contar. En la línea, un minuto de deriva térmica es suficiente para modificar tu dimensión crítica, y una sola partícula puede arruinar todo el lote. Los secadores antiguos nunca lograron mantener uniformidad completa en los 300 mm manteniendo la limpieza. Construimos el Secador de Obleas con Calentamiento Uniforme para eliminar esa variabilidad.

Lo que importa bajo el capó
En su interior, emisores de infrarrojo de onda corta están ubicados en una cámara optimizada con reflectores para alcanzar uniformidad térmica a nivel de oblea de ±0.1°C en 300 mm, respaldada por un mapa calibrado de 9 puntos. Las rampas de temperatura superan los 10°C/s con sobreimpulso controlado, de modo que tu presupuesto térmico se ajusta a las recetas de soft bake y hard bake sin sobrecurar el fotoresistor.
Es nativo para sala limpia: operación Clase 1–100, flujo de aire con HEPA integrado, filtración de gases de escape y materiales de baja emisión de gases que mantienen la generación de partículas en cero durante el ciclo. El lazo de control es PID con resolución de punto de ajuste de 0.05°C, y puedes almacenar una receta por proceso. Esa repetibilidad mantiene la CD y el perfil dentro de especificación, turno tras turno.

Uniforme on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Secador de obleas de calentamiento uniforme