Heizer für Reinraumwagen in der Halbleiterindustrie

Thu, 25 Jun 2026 01:58:56 +0800

In der Produktion zeigt sich die thermische Drift eines Heizers nicht als besonderes Problem – vielmehr zeigt sie sich als Abweichung von 0,3 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists. Zudem führt diese Drift zu Abweichungen in der Breite der Linien, mit denen man sich tagelang herumschlagen muss. Wir haben unsere Heizer so konstruiert, dass die thermischen Bedingungen innerhalb des erforderlichen Bereichs bleiben – also innerhalb des Prozessfensters, und nicht außerhalb dessen.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Elemente in einem Quarzkäfig – dadurch entsteht eine schnelle Reaktion sowie eine geringe thermische Masse. In der Arbeitszone halten wir die Homogenität auf dem Wafer-Niveau bei ±0,1 °C, unabhängig von den Einstellungen zwischen 50 °C und 300 °C. Die Messungen erfolgen mit kalibrierten Thermoelementen unter Produktionsbedingungen. Die Steuerung erfolgt im Schließkreis mit Mehrzonenkompensation – dadurch bleibt die Wiederholgenauigkeit zwischen den Chargen bei ±0,2 °C.

Wagen on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Heizer für Reinraumwagen in der Halbleiterindustrie