http://warm-ir-heater-eco.com/de/tags/photolack/ Recent content in Photolack on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo de Fri, 26 Jun 2026 02:01:33 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/de/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 02:01:33 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/de/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Photos Resist Backofenlampe"></p> <p>In der Lithografieabteilung reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad bei der Erhitzung des Photoresists aus, um die kritischen Abmessungen um Nanometer zu verändern. Solche Abweichungen führen zu Wiedarbeiten, Ausschuss und fehlenden Qualitätsstandards. Wir haben unsere Lampen so konstruiert, dass das thermische Verhalten von Schicht zu Schicht konstant bleibt.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir verwenden Kurzwellinfrarot-Strahler, die den Photoresist direkt und schnell erhitzen. Die Ausgangstemperatur bleibt zwischen 50°C und 250°C konstant. Die Homogenität auf der Waferoberfläche liegt bei ±0,1°C, die Wiederholgenauigkeit zwischen den Chargen bei ±0,5°C. Die Lampen sind für alle Reinraumklassen von Klasse 1 bis Klasse 100 geeignet – die verwendeten Komponenten und Materialien sorgen außerdem für eine geringe Gasemission sowie keine Partikelbildung. Die Temperatur wird in Echtzeit gemessen und protokolliert, sodass man jede Produktionsstufe anhand nachvollziehbarer Daten beurteilen kann.</p>