Hergestellt in einer Fabrik für Heizgeräte in China

Thu, 18 Jun 2026 01:39:31 +0800

In der Fertigungshalle ist eine Abweichung von 1°C im Weichbrennofen keine unbedeutende Angelegenheit – sie hat nämlich Auswirkungen auf die Produktqualität. Das Trocknen der Wafer, das Vorbrennen des Fotoleits und die Nachbehandlung nach der Belichtung erfordern alle eine präzise Kontrolle der Temperatur. Genau deshalb haben wir unsere Heizsysteme in China entwickelt: um Kurzwellen-Infrarotheizer zu schaffen, die speziell für den Einsatz in Halbleiterfertigungsprozessen konzipiert sind – und nicht nur für Marketingzwecke.

Was technisch wichtig ist: Unsere Infrarotmodule sorgen für eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Wafers. Die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,2°C. Schnelle Temperaturanpassungen verkürzen das Temperaturprofil. Zudem verhindert die fehlende Partikelbildung, dass die Partikelkonzentrationen in Reinräumen der Klassen 1–100 außer Kontrolle geraten. Die Quarz-Halogen-Elemente gewährleisten eine stabile Spektralausgabe, sodass die Absorption des Fotoleits konstant bleibt. Der Heizelementkörper ist außerdem für den Betrieb im Vakuum sowie mit inerten Gasen geeignet. Die Leistungsdichte wird anhand der thermischen Masse des Substrats festgelegt – nicht anhand des Gehäuses des Heizers. So wird die Temperatur direkt am Wafer gemessen, und nicht am Heizer selbst.

Gefertigt on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Hergestellt in einer Fabrik für Heizgeräte in China