Wie man verhindert, dass die chemischen Werkzeuge explodieren
Seien wir ehrlich: Die Mischung von brennbaren, flüchtigen Chemikalien mit Infrarotheizlampen ist ein Rezept für Katastrophen. Im Grunde genommen hat man hier einen hohen Brandgefahrpunkt mitten im Prozessverlauf.
Wir haben eine Lösung gefunden. Anstatt der offenen Konstruktionen, bei denen alles zugänglich ist, umhüllen wir das ganze Gerät mit einer wasserdichten Abdeckung.
Wie wir es sicher machen
Standard-Infrarotlampen versagen in chemischen Umgebungen – schließlich sind die elektrischen Anschlüsse und Dichtstellen zu undicht. Dampfe können eindringen, was wiederum Probleme verursacht.
Um das zu verhindern, verwenden wir einen zweistufigen Ansatz. Zuerst legen wir die Lampe in eine Hülle aus Saphir oder chemikalienbeständigem Quarz. Anschließend füllen wir die elektrischen Verbindungen mit hitzebeständigen, explosionssicheren Materialien.
Es ist einfach: Wir verhindern, dass Funken entstehen. Außerdem stellen wir sicher, dass die Abdeckung den aggressiven, korrosiven Reinigungsmitteln standhält – damit die Abdeckung nach ein paar Monaten intensiver Nutzung nicht zerbricht oder undicht wird.
Umgang mit der Hitze
Man könnte meinen, dass all diese Schutzmaßnahmen dazu führen, dass die Hitzedichte abnimmt. Das stimmt nicht. Wir haben viel Zeit darauf verwendet, die Dicke der Abdeckung so zu wählen, dass die Infrarotstrahlung weiterhin auf die Wafer trifft, ohne vom Material aufgenommen zu werden.
Aber es gibt einen Haken: Man muss auf die thermische Verzögerung achten. Die zusätzliche Schutzschicht erhöht das Gewicht des Geräts. Dadurch verhält sich der PID-Regler nicht mehr wie früher. Wenn man diese Lampen in alte Geräte einbaut, sollte man die alten Einstellungen nicht einfach übernehmen. Es ist möglich, dass man beim Erreichen der Zieltemperatur überschreitet – daher sollte man sich die Temperaturkurve noch einmal anpassen.
Einbau in die Anlage
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie direkt als Ersatz verwendet werden können. Da der Schutzmechanismus bereits in der Lampe integriert ist, muss man keinen riesigen, sperrigen explosionsgeschützten Behälter um das gesamte Gerät bauen. Dadurch bleibt der Platzbedarf gering und die Arbeitsumgebung sauber. Stellen Sie nur sicher, dass die Verkabelung für Ihre spezielle Reinraumzone geeignet ist – dann funktioniert alles einwandfrei.