http://warm-ir-heater-eco.com/cs/tags/pl%C3%A1tek/ Recent content in Plátek on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo cs Tue, 09 Jun 2026 01:30:44 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/cs/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ Tue, 09 Jun 2026 01:30:44 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/cs/posts/uniform-heating-wafer-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Jednotné ohřívání sušičky na destičky"></p> <p>The wafer narazí na spin track a spustí se hodiny. Na lince stačí minuta posunu teploty k ovlivnění kritické dimenze a jedna částice dokáže zničit celou šarži. Staré sušičky nikdy <a href="https://goldisgood.com">nezachov</a>ávaly uniformitu přes celé 300 mm při současném zachování čistoty. Vyvinuli jsme Uniform Heating Wafer Dryer, aby odstranil tuto proměnlivost.</p> <p><strong>Co je důležité pod kapotou</strong><br> Uvnitř jsou krátkovlnné infračervené emitorové prvky umístěné v komoře optimalizované reflektory, které dosahují termické uniformity ±0,1 °C přes 300 mm, podložené kalibrovanou 9bodovou mapou. <a href="https://henruite.com">Teplotn</a>í rampy překračují 10°C/s s řízeným přeběhem, což umožňuje sladění tepelného rozpočtu s recepty soft bake a hard bake bez přepálení fotorezistu.<br> Zařízení je navrženo pro čisté prostředí: provoz třídy 1–100, integrován HEPA filtr na proudění vzduchu, filtrování výfuku a materiály s nízkou mírou uvolňování částic, které udržují nulovou produkci částic během cyklu. Řídicí smyčka je PID s rozlišením nastavení 0,05°C a je možné uložit recept na proces. Tato opakovatelnost udržuje CD a profil v rámci tolerance směnu po směně.</p>