IR on Eco-Friendly Warm IR Heaters

Hliníkový reflektor pro IR žárovku

Mon, 27 Jul 2026 17:11:56 +0800

Jak udržet věci v bezpečí při čištění s těkavými chemikáliemi
Buďme upřímní: umístění infračervených (IR) lamp do zařízení na chemické čištění je trochu jako hraní si s ohněm. V prostoru se pohybují hořlavé páry a koroziózní látky, které ničí všechno, čeho se dotknou. Pokud tam prostě umístíte běžnou lampu, v podstatě vyvoláváte katastrofu.

Proto tyto lampy jen tak neinstalujeme. Obalujeme je do reflektorů z vysokokydratného hliníku a používáme odolné uzavření, aby elektrické součásti zůstaly zcela oddělené od těchto škodlivých plynů.

Přesný IR senzor pro destičky

Sun, 19 Jul 2026 10:18:59 +0800

Snížení uhlíkové stopy při zpracování destiček pomocí přesného IR zahřívání

Pokud jste někdy strávili čas v provozech na polovodičovou výrobu, víte, že tepelná přesnost je zásadní. Po dlouhou dobu jsme spoléhali na tyto obrovské rezistivní pece na vysoušení a kalení, ale buďme upřímní – spotřebovávají hodně energie. Pokud opravdu chceme dosáhnout uhlíkové neutrality, musíme přestat plýtvat teplem.
Zde přicházejí na řadu IR zahřívací lampy.

Fyzika toho procesu
Představte si, jak funguje tradiční pec. Zahřívá vzduch, který poté zahřívá komoru a ta nakonec zahřívá samotnou destičku. Je to neefektivní. IR zahřívání je jiné – využívá záření k přímému ohřevu povrchu destičky. Tím, že se zaměříme na destičku a ignorujeme stěny komory, nejenže šetříme čas, ale také snižujeme celkovou spotřebu kilowatthodin na jednu várku. Právě tady začíná klesat uhlíková stopa. Je to prostě logické.

Regulátor napětí pro fab IR

Sat, 20 Jun 2026 02:42:25 +0800

V výrobní hale není kolísání teploty o 1 °C během zahřívání fotorezistentu „malou odchylkou“. Projevuje se to rozptylem šířky čar, vznikem nečistot a nutností odstranění špatných výrobků. Nahřívání pomocí infračerveného záření může být přesné, ale pouze za podmínky, že napětí napájející zdroj infračerveného záření je dostatečně stabilní, aby byl zachován termální stav. Náš regulátor napětí pro infračervené záření byl navržen tak, aby splňoval tyto požadavky.

Co je technicky důležité
Snažíme se dosáhnout rovnoměrnosti teploty na celém povrchu waferu v rozsahu ±0,1 °C, a to tím, že udržujeme vstupní výkon infračerveného záření v úzkých mezích. Díky tomu nemají fluktuace způsobené čarami vliv na maximální teplotu. Regulátor je vhodný pro provoz v prostorách s vyšší mírou čistoty (třída 1–100), díky materiálům a povrchovým úpravám, které minimalizují tvorbu částic. Profily zahřívání zůstávají opakovaně stejné, protože regulátor kompenzuje poklesy a výkyvy napětí ještě předtím, než se dostanou k zdroji infračerveného záření. Lze jej používat 24/7 s nízkými odchylkami teploty a dlouhou životností – jednotky již vydržely více než 5 000 hodin s poklesem výkonu nižším než 5 %.

Teplota měkkého pečení fotorezistu IR

Sun, 31 May 2026 02:55:23 +0800

Na lithografické podlaze není soft bake jen takové rozcvičení. Je to krok, který nastavuje profil rozpouštědla ve fotoresistu, fixuje tloušťku filmu a zapisuje rozměrové tolerance, které přímo přecházejí do expozice a vývoje. Když je pečení nerovnoměrné, nedochází k jemnému posunu. Dochází ke změně šířky linií, vzniku sidewall footing a poklesu výtěžnosti, který se projeví tam, kde to nejvíc bolí – při parametrických testech.

Konvenční horké desky mohou nerovnoměrnost zamaskovat dlouhými dobami nasákání, ale wafery se neustále mění. Hustota vzoru kolísá, výšky vrstev se liší a substráty se tenčí – každý z těchto faktorů mění tepelnou zátěž. Infračervené (IR) vytápění, pokud je navrženo pro disciplínu polovodičů, tuto masku odhalí. Dodává teplo přesně tam, kde je potřeba – rychle a s opakovatelnou kontrolou.