http://warm-ir-heater-eco.com/cs/tags/fotorezist/ Recent content in Fotorezist on Eco-Friendly Warm IR Heaters Hugo cs Sun, 31 May 2026 02:55:23 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sun, 31 May 2026 02:55:23 +0800 http://warm-ir-heater-eco.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heater-eco.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Teplota měkkého pečení fotorezistu IR"></p> <p>Na lithografické podlaze není soft bake jen takové rozcvičení. Je to krok, který nastavuje profil rozpouštědla ve fotoresistu, fixuje tloušťku filmu a zapisuje rozměrové tolerance, které přímo přecházejí do expozice a vývoje. Když je pečení nerovnoměrné, nedochází k jemnému posunu. Dochází ke změně šířky linií, vzniku sidewall footing a poklesu výtěžnosti, který se projeví tam, kde to nejvíc bolí – při parametrických testech.</p> <p>Konvenční horké desky mohou nerovnoměrnost zamaskovat dlouhými dobami nasákání, ale wafery se neustále mění. Hustota vzoru kolísá, výšky vrstev se liší a substráty se tenčí – každý z těchto faktorů mění tepelnou zátěž. Infračervené (IR) vytápění, pokud je navrženo pro disciplínu polovodičů, tuto masku odhalí. Dodává teplo přesně tam, kde je potřeba – rychle a s opakovatelnou kontrolou.</p>