কেন আমরা সেমি-ফ্যাব প্রক্রিয়ায় UHP ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করছি?
সেমিকন্ডাক্টর শিল্পটি পুরানো ধরনের ওভেনগুলো থেকে দূরে সরে যাচ্ছে। আমরা ইউল্ট্রা হাই পিউরিটি (UHP) ইনফ্রারেড হিটার ল্যাম্পগুলোর দিকে ঝুঁকছি। এটা কেবলমাত্র একটি শিল্পীয় প্রবণতা নয়; বরং অতিরিক্ত বিদ্যুৎ ব্যবহার না করেই কঠোর মানদণ্ড অনুযায়ী উৎপাদন করার উপায়।
পদার্থবিজ্ঞানের নিয়মগুলো ঠিকমতো বোঝা দরকার
সাধারণ ওভেনের কাজের পদ্ধতি কী? আপনি বাতাসকে উত্তপ্ত করেন, আর তারপর সেই উত্তপ্ত বাতাস ওয়েফারকে উত্তপ্ত করে। এটা ধীর এবং অকার্যকর।
কিন্তু UHP IR ল্যাম্পগুলো ভিন্নভাবে কাজ করে। এগুলো শর্টওয়েভ রেডিয়েশন ব্যবহার করে শক্তিকে সরাসরি সাবস্ট্রেটে পাঠায়। তাপটি চেম্বারের দেয়ালগুলোতে থেকে যায় না; বরং সরাসরি লক্ষ্যবস্তুতে পৌঁছায়।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, আপনি আপনার ড্রাইং ইকুইপমেন্টের আকার ছোট করতে পারেন, কিন্তু উৎপাদন ক্ষমতা কমবে না। এটা আপনার জায়গা ও বিদ্যুৎ খরচ দুটোর জন্যই উপকারী।
দূষণ রোধের জন্য
ক্লিনরুমে বায়ুতে থাকা অপ্রয়োজনীয় পদার্থগুলো সমস্যার কারণ হয়। বাতাসে থাকা সামান্য অপ্রয়োজনীয় পদার্থই সমস্যা সৃষ্টি করতে পারে।
এজন্যই আমরা উচ্চ-পিউরিটির সিনথেটিক কোয়ার্টজ ও নির্দিষ্ট হ্যালোজেন ব্যবহার করি। আমাদের নিশ্চিত হতে হয় যে কোনো ধরনের ধাতব দূষক পরিবেশে প্রবেশ করছে না। এই ল্যাম্পগুলো চরম তাপ সহ্য করতে পারে; ফলে কোয়ার্টজ ভেঙে যায় না। এভাবে আপনি পরিষ্কার তাপ পান, যা ওয়েফারগুলোতে কোনো ধূলিকণা ফেলে না।
গতি বনাম নির্ভুলতা
UHP ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী। তাই উৎপাদন প্রক্রিয়া দ্রুত সম্পন্ন হয়।
কিন্তু এই গতির সাথে একটি ঝুঁকি রয়েছে। যেহেতু শক্তি খুবই ঘনীভূত থাকে, তাই আপনাকে কনভেয়ার বেল্টের গতি ও ল্যাম্প থেকে দূরত্ব নিয়ে খুব সাবধান থাকতে হবে। যদি PID কন্ট্রোলারগুলো ঠিকমতো সেট না করা হয়, তাহলে ওয়েফারগুলোর কিনারাগুলো পুড়ে যেতে পারে। নির্ভুল ফলাফল পেতে কিছুটা দক্ষতা দরকার।
প্রক্রিয়াটিকে আরও পরিষ্কার করা
IR কিউরিং হলো একটি শুষ্ক প্রক্রিয়া। অর্থাৎ, আপনাকে আর রাসায়নিক দ্রবণ বা লেড-ভিত্তিক ক্যাটালিস্টের উপর নির্ভর করতে হবে না।
UHP IR ব্যবহার করে আপনি উৎপাদন প্রক্রিয়া থেকে সমস্ত দূষক পদার্থগুলো দূর করতে পারেন। এটাই হলো শূন্য-নির্গমন অবস্থায় উৎপাদন করার সবচেয়ে সহজ উপায়।