কাটিং সাইকেল টাইম: কেন ভ্যাকুয়াম IR হট এয়ারের চেয়ে ভালো?
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের কাজ করেন, তাহলে আপনি জানেন যে প্রতি সেকেন্ড অপচয় মানেই অর্থের অপচয়। অনেকেই হট এয়ার ব্যবহার করে কাজ করেন; কিন্তু যদি আপনি সত্যিই কাজের সময় কমাতে চান, তাহলে ভ্যাকুয়াম-সংগত ইনফ্রারেড (IR) হিটারগুলো ব্যবহার করা উচিত।
ফোর্সড কনভেকশনের সমস্যা:
ফোর্সড কনভেকশনের ক্ষেত্রে তাপ পৌঁছে দেওয়ার জন্য গ্যাস প্রয়োজন। কিন্তু ভ্যাকুয়ামে তো কোনো বায়ু নেই। যা নেই তা দিয়ে কিছু করা সম্ভব নয়। এটা একটি ভৌত সমস্যা।
IR-এর সুবিধা:
এখানেই IR-এর ভূমিকা। বায়ু উষ্ণ হওয়ার জন্য অপেক্ষা করার পরিবর্তে, IR হিটারগুলো ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক বিকিরণ ব্যবহার করে। ফলে তাপ সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছায়। এটা খুবই দ্রুত।
পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা বজায় রাখা:
ভ্যাকুয়ামে যেকোনো হিটার ব্যবহার করা যায় না। সাধারণ হিটারগুলো থেকে গ্যাস নির্গত হয়, যা ক্লিনরুমে সমস্যা সৃষ্টি করে। আমরা বিশেষ ধরনের কোয়ার্টজ উপকরণ ব্যবহার করি; এগুলো ভ্যাকুয়াম চাপেও কার্যকর থাকে। আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার উপকরণও ব্যবহার করি; এগুলো গরম হলেও ধোঁয়া বা কণা নির্গত করে না। এতে ভ্যাকুয়ামটি স্থিতিশীল থাকে এবং ওয়েফারগুলোও পরিষ্কার থাকে।
কিছু সমস্যা:
IR কোনো “জাদুর ছড়ি” নয়। যেহেতু শক্তি খুব দ্রুত স্থানান্তরিত হয়, তাই যদি PID লুপটি ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে লক্ষ্য তাপমাত্রা অতিক্রম হয়ে যেতে পারে। তাই দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল থার্মোকাপল বা পাইরোমিটার ব্যবহার করা উচিত। আর কুলিং সিস্টেমটিও ঠিকমতো কাজ করছে কিনা লক্ষ্য রাখুন। যদি কুলিং সিস্টেমটি দুর্বল হয়, তাহলে তাপ চেম্বারের দেয়ালে প্রবেশ করে সেন্সরের রিডিংয়ে ব্যাঘাত ঘটাবে।
সুবিধাগুলো:
যখন এগুলোকে প্রিসিশন পাওয়ার কন্ট্রোলারের সাথে সংযুক্ত করা হয়, তখন অনেক সুবিধা পাওয়া যায়। থার্মাল গ্রেডিয়েন্টগুলো আরও ভালো হয়, আর সরঞ্জামগুলোর আকারও ছোট হয়ে যায়। এতে ল্যাবরেটরিতে আরও জায়গা পাওয়া যায়।