在光刻工艺中，烘烤过程并非简单的预热步骤，而是决定光阻性能的关键环节。如果软化烘烤或硬化烘烤时的温度偏差达到2°C，就会影响产品尺寸的精确控制，还会在晶圆表面留下杂质。旋转涂胶机的烘烤灯只有一个作用：以极高的稳定性维持工艺温度，确保每一分钟的温度都保持一致。 关键在于内部设计 我们选择石英封装的短...

在光刻车间，软烘不是简单的预热环节。它是设定光刻胶溶剂分布、锁定膜厚并定义尺寸公差的关键步骤，这些参数会直接影响曝光和显影过程。当烘烤不均匀时，结果不会只是轻微漂移，而是线宽变化、侧壁基脚缺陷，以及直接影响关键参数测试的良率下降。 传统热板可以通过延长浸泡时间掩盖不均匀性，但晶圆状态始终在变化。图...