半导体洁净室推车式加热器

在工厂车间里，传送带式加热器的热漂移问题通常不会被当作重要问题来处理。它只会表现为光刻胶烘烤过程中0.3°C的温度偏差，而这种偏差又会导致线宽出现变化，从而需要花费一周时间来解决问题。我们设计的洁净室用传送带式加热器，其作用就是将温度控制在合理范围内——即处于工艺允许的范围内，避免出现偏差。 从技...