为何在半导体加工中要放弃热风加热，转而使用红外线加热？
如果你仍然依赖热风循环来进行加热，那么你很可能要花费大量时间在等待上。在半导体的深度加工过程中，这种等待时间无疑是个大问题——它成了制约生产效率的瓶颈。 采用红外线加热，并不是要购买昂贵的新设备，而是为了节省时间。 热风加热的弊端 想想热风加热的原理：先加热空气，然后让空气去加热工件。其实，空气只是个中间介质而已。而中间介质的传输速度是很慢的。 红外线加热则不同。它直接利用电磁辐射来加热目标材料，无需经过任何中间介质。因此，不需要等待空气变暖。在我们设计的系统中，其加热速度比传统的热风加热系统快5到10倍。真是快极了。 如何设计加热装置 当然，你不能随便把红外线加热器装进纸箱里就完事了。尤其是在洁净室里更不行。 我们会用优质的不锈钢来制造加热器的外壳，这样就能保证系统的清洁度——不会产生气体泄漏，也不会出现腐蚀现象。但这里有个秘诀：加热器的外壳实际上是一面镜子。我们会精心设计其内部结构，确保所有光线都能反射回工件上。如果角度稍有偏差，就会浪费能量，且无法有效加热工件。 需要注意的问题及解决方案 红外线加热虽然效果显著，但使用时也有一些需要注意的地方。 你不能直接将红外线加热器替换到旧的热风加热系统中，期望它能正常工作。因为如果材料无法承受突然的升温，就有可能出现裂痕。为避免这种情况，我们会使用PID控制器来控制加热过程，让温度上升得更加平稳，从而避免材料受到冲击。 这对企业的好处 当你不再纠结于空气流量，而是专注于辐射能时，会有两个好处： 首先，工件的预热和处理时间会大大缩短。这意味着你可以提高每小时的处理量。 其次，设备的体积也会变小。由于不需要庞大的空气循环系统，整个设备就会变得更小。这样一来，你就可以在不改动建筑结构或租赁更多仓库空间的情况下，提高生产效率。