Tại sao chúng ta lại từ bỏ phương pháp sử dụng khí nóng để thay thế bằng phương pháp sử dụng tia hồng ngoại trong quy trình xử lý bán dẫn?
Nếu bạn vẫn tiếp tục sử dụng phương pháp sử dụng khí nóng để làm nóng vật liệu trong quy trình xử lý bán dẫn, có lẽ bạn đang lãng phí quá nhiều thời gian vào việc chờ đợi. Trong quy trình xử lý bán dẫn, thời gian chờ đợi này chính là yếu tố cản trở mọi thứ diễn ra nhanh chóng.
Việc chuyển sang sử dụng tia hồng ngoại không có nghĩa là phải mua những thiết bị mới đắt tiền. Đó là cách giúp bạn tiết kiệm thời gian.
Vấn đề với phương pháp sử dụng khí nóng
Hãy nghĩ xem khí nóng hoạt động như thế nào. Bạn làm nóng khí, sau đó khí đó mới làm nóng vật liệu. Đó là một “trung gian”. Và các trung gian luôn khiến mọi thứ diễn ra chậm chạp.
Còn tia hồng ngoại thì khác. Nó sử dụng bức xạ điện từ để làm nóng trực tiếp vật liệu. Không cần trung gian, cũng không cần chờ đợi khí được làm nóng. Trong các hệ thống mà chúng tôi xây dựng, tốc độ làm nóng có thể cao gấp 5 đến 10 lần so với các hệ thống sử dụng khí nóng thông thường. Thật nhanh!
Làm thế nào để chế tạo thiết bị sử dụng tia hồng ngoại?
Bạn không thể đơn giản chỉ đặt một bộ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại vào một chiếc hộp bìa cứng rồi coi như xong. Đặc biệt là trong môi trường phòng sạch.
Chúng tôi chế tạo vỏ máy từ thép không gỉ cao cấp. Điều này giúp duy trì môi trường sạch sẽ – không có khí độc thoát ra, cũng không xảy ra hiện tượng ăn mòn. Nhưng bí quyết nằm ở chỗ: vỏ máy thực chất giống như một tấm gương. Chúng tôi chú trọng đến hình dạng bên trong của vỏ máy để đảm bảo rằng mọi tia ánh sáng đều được phản chiếu trở lại vật liệu cần xử lý. Nếu góc phản chiếu sai vài độ, bạn sẽ lãng phí năng lượng và làm mất nhiệt.
Những khó khăn khi sử dụng tia hồng ngoại và cách khắc phục chúng
Vấn đề là tia hồng ngoại có khả năng làm nóng vật liệu một cách nhanh chóng. Bạn không thể đơn giản thay thế nó vào hệ thống sử dụng khí nóng cũ và mong đợi nó hoạt động tốt. Nếu vật liệu không thể chịu đựng được sự thay đổi nhiệt độ đột ngột, nó có thể bị nứt vỡ. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng bộ điều khiển PID để kiểm soát dòng năng lượng được cung cấp cho vật liệu. Điều này giúp giảm dần nhiệt độ một cách từ từ, nhờ đó vật liệu sẽ không bị tổn thương.
Lợi ích của việc sử dụng tia hồng ngoại
Khi bạn ngừng lo lắng về lượng khí cần sử dụng và tập trung vào năng lượng bức xạ, hai điều sẽ xảy ra:
Thứ nhất, thời gian làm nóng vật liệu sẽ giảm đáng kể. Điều này có nghĩa là bạn có thể xử lý nhiều vật liệu hơn mỗi giờ.
Thứ hai, kích thước thiết bị sẽ nhỏ hơn. Vì bạn không cần những buồng thông gió lớn, nên toàn bộ hệ thống sẽ nhỏ gọn hơn. Bạn sẽ có thể xử lý nhiều vật liệu hơn mà không cần phải di chuyển các bức tường hay thuê thêm diện tích kho chứa.