کٹنگ سائیکل کا وقت: ویکیوم آئی آر کیوں بہتر ہے؟
اگر آپ سیمی کنڈکٹرز کی پروسیسنگ کا کام کرتے ہیں، تو آپ جانتے ہیں کہ ہر بار برباد ہونے والا ایک سیکنڈ، دراصل نقصان ہی ہے۔ بہت سے لوگ ہاٹ ایر سسٹم کا استعمال کرتے ہیں، لیکن اگر آپ واقعی کٹنگ سائیکل کا وقت کم کرنا چاہتے ہیں، تو آپ کو ویکیوم-سازگار آئی آر ہیٹرز کا استعمال کرنا ہوگا۔
فورسڈ کنویکشن سسٹم کا مسئلہ یہ ہے کہ اس کے لئے حرارت کو ویفر تک پہنچانے کے لئے گیس کی ضرورت ہوتی ہے۔ لیکن ویکیوم میں تو ہوا ہی نہیں ہوتی… ایسی صورت میں حرارت کو کہاں منتقل کیا جائے؟ یہ تو ایک فزیکل مشکل ہے۔
واسطوں کو ختم کرنا
یہی وہ جگہ ہے جہاں آئی آر ہیٹرز کام آتے ہیں۔ ہوا کے گرم ہونے کا انتظار کرنے کے بجائے، آئی آر ہیٹرز الیکٹرومیگنیٹک ریڈییشن کا استعمال کرتے ہیں؛ فوٹونز سیدھے ویفر پر پڑتے ہیں۔
یہ بہت تیز عمل ہے… واقعی بہت تیز۔
آپ کو چیمبر کے اندر کی فضا کو گرم کرنے میں وقت ضائع کرنے کی ضرورت نہیں ہے… چیزوں کے گرم ہونے میں منٹوں کے بجائے صرف سیکنڈ لگتے ہیں۔ ویفر فوراً ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں، اور پروڈکشن کی رفتار بھی بہت بڑھ جاتی ہے۔
چیزوں کو صاف رکھنا
اب، آپ کسی بھی ہیٹر کو ویکیوم میں استعمال نہیں کر سکتے… عام ہیٹرس سے گیسیں باہر نکلتی ہیں، جو کہ کلین روم میں بہت مشکلات پیدا کرتا ہے۔
ہم اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے خصوصی کوارٹز کی تہوں اور سیلز کا استعمال کرتے ہیں… یہ تہیں ویکیوم کے دباؤ کو برداشت کر سکتی ہیں۔ ہم اعلیٰ خالصیت والے مواد کا بھی استعمال کرتے ہیں… جن سے گرم ہونے پر کوئی دھواں یا ذرات باہر نہیں نکلتے۔ اس طرح ویکیوم میں استحکام برقرار رہتا ہے، اور ویفر بھی صاف رہتے ہیں۔
تضادات (کیوں کہ کچھ بھی بے عیب نہیں ہے)
میں یہ نہیں کہوں گا کہ آئی آر ہیٹرز جادوئی ہیں… لیکن چوںکہ انرجی کی منتقلی بہت تیز ہوتی ہے، اس لئے اگر PID لوپ مناسب نہ ہو، تو مطلوبہ درجہ حرارت حاصل کرنا مشکل ہو جاتا ہے۔
آپ کو تیز ردِعمل والے تھرموکپلز یا پائرومیٹرز کا استعمال کرنا ہوگا، تاکہ چیزیں مناسب رہیں۔ ساتھ ہی، کولنگ سسٹم پر بھی توجہ دینی ہوگی… اگر یہ بہت چھوٹا ہو، تو حرارت چیمبر کی دیواروں میں جا سکتی ہے، اور سینسروں کے پڑھنے کے عمل میں خلل پڑ سکتا ہے۔
لیکن جب آپ ان ہیٹرز کو پریسیشن پاور کنٹرولر سے جوڑ دیں، تو فوائد بہت زیادہ ہوتے ہیں… آپ کو بہترین تھرمل گریڈیئنٹس ملتے ہیں، اور سازوسامان کا حجم بھی کم ہو جاتا ہے… آپ اب ان بھاری بلوئرز اور ڈکٹس کو ہٹا کر اپنی لیبارٹری میں مزید جگہ حاصل کر سکتے ہیں۔