ویفر پروسیسنگ میں کاربن کی مقدار کو درستگی کے ساتھ کم کرنے کے لئے آئی آر حرارت کا استعمال
اگر آپ نے سیمی-فیبریکیشن کے عمل میں کام کیا ہے، تو آپ جانتے ہیں کہ حرارتی درستگی بہت اہم ہے۔ طویل عرصے سے ہم نے پروڈکٹس کو خشک کرنے اور ان کو درست کرنے کے لئے بڑے رزسٹیو اوونوں کا استعمال کیا ہے، لیکن درحقیقت یہ بہت زیادہ توانائی استعمال کرتے ہیں۔ اگر ہم واقعی کاربن نیوٹرالیٹی کے ہدف کو حاصل کرنا چاہتے ہیں، تو ہمیں توانائی کا ضیاع روکنا ہوگا۔
یہیں پر آئی آر حرارت کے استعمال کی اہمیت سامنے آتی ہے۔
اس کی فزکس
سوچیں کہ ایک روایتی اوون کیسے کام کرتا ہے؛ یہ ہوا کو گرم کرتا ہے، پھر وہ ہوا چیمبر کو گرم کرتی ہے، اور آخر میں چیمبر ویفر کو گرم کرتا ہے۔ یہ طریقہ غیرموثر ہے۔ آئی آر حرارت میں ریڈیئیشن کا استعمال کیا جاتا ہے، جس سے ویفر کی سطح کو براہِ راست گرم کیا جاتا ہے۔
ویفر پر توجہ مرکوز کرکے اور چیمبر کی دیواروں کو نظرانداز کرکے، نہ صرف وقت کی بچت ہوتی ہے، بلکہ ہر بیچ میں استعمال ہونے والی توانائی کی مقدار بھی کم ہو جاتی ہے۔ یہی وہ نقطہ ہے جہاں سے کاربن کا اخراج کم ہونا شروع ہوتا ہے۔ یہ بالکل منطقی ہے۔
فیڈبیک کی اہمیت
لیکن صرف لیمپ ہی کافی نہیں ہے؛ اس کی کارکردگی اس سسٹم پر منحصر ہے جو اسے کنٹرول کرتا ہے۔
ہم درستگی والے آئی آر سینسروں کا استعمال کرتے ہیں تاکہ سطح کے درجہ حرارت کو براہِ راست نگرانی کیا جاسکے۔ یہ سینسرز PID کنٹرولر سے رابطہ کرتے ہیں، جو توانائی کی مقدار کو براہِ راست کنٹرول کرتا ہے۔ اگر ویفر کا درجہ حرارت مطلوبہ سطح تک جلدی پہنچ جاتا ہے، تو سسٹم فوراً توانائی کی مقدار کو کم کر دیتا ہے۔ اس طرح کوئی غیرضروری توانائی کا ضیاع نہیں ہوتا۔
مثبت اور منفی پہلو
ہائی-انٹینسٹی آئی آر لیمپ بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں، لیکن اس کے ساتھ ہی لیمپ کے ہاؤسنگ پر بہت زیادہ دباؤ پڑتا ہے۔ اس لئے کولنگ فینوں اور ہیٹ سنکس کو مناسب طریقے سے استعمال کرنا ضروری ہے۔ اگر کولنگ کا نظام مناسب نہ ہو، تو لیمپ جلدی خراب ہو سکتے ہیں، یا سینسروں کی کارکردگی متاثر ہو سکتی ہے۔ یہ ایک توازن کا معاملہ ہے۔
“گرین فیکٹری” کے لئے فوائد
جب ہم بڑے پیمانے پر حرارت فراہم کرنے کے طریقوں کو ترک کرتے ہیں، تو بےکار توانائی کا استعمال بہت کم ہو جاتا ہے۔ جب صرف پروڈکٹ کو ہی گرم کیا جاتا ہے، نہ کہ پورے کمرے کو، تو یہ بہت فائدہ مند ہے۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ زیادہ تر روایتی حرارتی سسٹموں میں یہ تبدیلی بہت آسان ہے۔ جب تک آپ کا پاور سسٹم اس تبدیلی کو سنبھال سکتا ہے، آپ اسے بغیر کسی مشکل کے استعمال کر سکتے ہیں۔