لیتھوگرافی کے عمل میں، نرم بیکنگ کے دوران آدھے ڈگری کا فرق بھی کرٹیکل ڈائمینشن کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کرنے کے لئے کافی ہے۔ ایسا فرق ورک ری ورک، فضول مال کے استعمال، اور مطلوبہ معیارات سے باہر جانے کا سبب بنتا ہے۔ ہم نے اپنے فوٹوریزسٹ بیکنگ لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ حرارتی رویہ مستقل رہے، اور ہر بار ایک جیسا ہی رہے۔
کون سی چیزیں اہم ہیں؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ (NIR) ایمیٹر استعمال کرتے ہیں، جو فوٹوریزسٹ کو براہِ راست اور تیزی سے گرم کرتا ہے۔ آؤٹ پٹ 50°C سے 250°C کے درمیان مستقل رہتا ہے۔ ویفر کی سطح پر یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، جبکہ مختلف بیچوں میں یہ ±0.5°C کے اندر رہتی ہے۔ یہ سسٹم کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین رومز کے لئے مناسب ہے، اور اس کے لئے ایسے آلات اور مواد استعمال کئے گئے ہیں جن سے کم سے کم گیسیں خارج ہوتی ہیں، اور کوئی ذرات بھی پیدا نہیں ہوتے۔ درجہ حرارت کو ریئل ٹائم میں ناپا جاتا ہے، تاکہ ہر عمل کے نتائج کو ٹریس کیا جاسکے۔
یہ سسٹم کیوں کامیاب ہے؟
یہ لیمپ ویفر کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو نرم بیکنگ دینے، اور اسے مضبوط بنانے کے عملوں کو انجام دیتا ہے، بغیر حرارتی بجٹ کو بڑھانے کے۔ عمل تیزی سے مکمل ہوتا ہے، اور ریزسٹ گلاس کے ٹرانزیشن پوائنٹ سے زیادہ درجہ حرارت نہیں پہنچتا۔ تنگ سپیکٹرل رسپانس کی وجہ سے سبسٹریٹ کا درجہ حرارت کم رہتا ہے، جس سے نیچے موجود فلمیں محفوظ رہتی ہیں۔ اس کے نتیجے میں خرابیاں کم ہوتی ہیں، فضول مال کم ہوتا ہے، اور CD، پروفائل، اور باقی رہنے والے حلوں پر کنٹرول برقرار رہتا ہے۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیونکہ حرارت فوٹوریزسٹ میں جاتی ہے، نہ کہ آلات یا کمرے میں۔
کچھ حقیقتیں:
NIR کی شدت فاصلے کے مربع کے ساتھ کم ہوتی جاتی ہے، اس لئے کام کرنے کے لئے فاصلہ مستقل اور یکساں ہونا ضروری ہے۔ ہر بار عمل شروع کرنے سے پہلے تھوڑا وارم اپ اور کیلیبریشن ضروری ہے۔ اپنے چک مواد اور ریفلیکٹر کی ساخت کو لیمپ کے حرارتی پروفائل کے مطابق رکھیں۔ موجودہ سسٹموں میں اسے شامل کرنا آسان ہے، لیکن میکانی ساخت اور کولنٹ لائنوں کے لئے منصوبہ بندی ضروری ہے۔