Чому ми відмовляємося від використання гарячого повітря на користь інфрачервоного опалення у процесі обробки напівпровідників
Якщо ви все ще користуєтесь системою циркуляції гарячого повітря для теплової обробки, ймовірно, ви витрачаєте занадто багато часу просто на очікування. У процесі глибокої обробки напівпровідників цей час очікування є серйозною перешкодою – він уповільнює весь процес.
Перехід на інфрачервоне опалення означає не купівлю якогось складного обладнання. Це спосіб повернути собі втрачений час.
Проблеми, пов’язані з використанням повітря
Уявіть, як працює гаряче повітря: спочатку нагрівається саме повітря, а потім вже це повітря нагріває матеріал, який потрібно обробити. Це своєрідний „посередник“, а посередники завжди працюють повільно.
Інфрачервоне опалення працює інакше – воно використовує електромагнітне випромінювання для безпосереднього нагрівання матеріалу. Немає жодних посередників, немає необхідності чекати, поки повітря нагріється. У системах, які ми створюємо, швидкість нагрівання в 5–10 разів вища, ніж у старих системах із циркуляцією повітря. Це дуже швидко.
Створення корпусу для опалювача
Не можна просто помістити інфрачервоний опалювач у картонну коробку та вважати, що все готово. Особливо це стосується чистих приміщень. Ми виготовляємо корпуси для опалювачів з високоякісної нержавіючої сталі. Це допомагає зберегти чистоту – немає випаровувань, немає корозії. Але є ще один секрет: корпус насправді є дзеркалом. Ми дуже уважно контролюємо його внутрішню геометрію, щоб кожен фотон відбивався назад на оброблюваний матеріал. Якщо кут відхилення становить навіть кілька градусів, це призводить до марної витрати енергії та втрати тепла.
Недоліки та способи їх подолання
Інфрачервоне опалення діє дуже швидко та інтенсивно. Не можна просто встановити його в стару систему з циркуляцією повітря та очікувати, що все буде працювати ідеально. Якщо матеріал не може витримати різкий стрибок температури, він може тріскатися. Щоб уникнути цього, ми використовуємо контролер PID для програмування поступового збільшення потужності. Це схоже на регулятор яскравості – ми поступово збільшуємо температуру, щоб матеріал не піддавався стресу.
Як це впливає на ваш бізнес
Коли ви перестаєте турбуватися про об’єм повітря та починаєте зосереджуватися на випромінюванні, відбуваються дві речі. По-перше, час підготовки та нагрівання значно скорочується. Це означає, що ви можете обробляти значно більшу кількість одиниць продукції на годину. По-друге, обладнання стає меншим за розмірами. Оскільки не потрібні великі приміщення для циркуляції повітря, вся станція стає меншою. Ви отримуєте більшу продуктивність без необхідності змінювати конструкцію приміщень чи орендувати більше простору.