Litografi işlemlerinde, “bake” işlemi sadece bir ısınma süreci değildir; aslında fotoresistin yapısını belirleyen bir adımdır. Yumuşak veya sert pişirme işlemlerinde meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik, kritik boyutların kontrolünü bozar ve hat boyunca istenmeyen kalıntılar oluşmasına neden olur. Spin koaterın pişirme lambasının tek görevi, dakika dakika sürekli olarak işlem sıcaklığını sabit tutmaktır.
Önemli olan şeyler
Kuvars kılıf içinde yer alan kısa dalga boylu kızılötesi halojen lambalar kullanıyoruz; çünkü bunlar hızlı tepki verir ve stabil kalırlar. Bu sayede plaka üzerindeki sıcaklık düzgünlüğü ±0,1°C aralığında sağlanır ve fotoresistin pişirilme sıcaklığı da hassas bir şekilde kontrol edilir. Böylece termal dengeler korunmuş olur.
Temiz oda standartlarına uyumluluk
Tasarımda, düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve partikül kontrolü sağlayan sistemler kullanılır. Sıfır partikül üretimi sadece bir slogan değil, temel bir gerekliliktir.
Sistemin 7/24 çalışması
Sistem planlanmayan arızalar olmadan 24/7 çalışır. Tekrarlanabilirlik ise, hat voltajındaki değişiklikleri ve lambanın yaşlanmasını telafi eden kapalı döngü kontrolünden kaynaklanır.
Üretimde neden başarılı olur?
Reçeteye uygun şekilde pişirme işleminin gerçekleştirilmesi gerekir; tersi mümkün değildir. Bu lamba, spin koaterın pişirme bölgesini stabilize eder; böylece hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri daha etkili bir şekilde gerçekleşir. Sonuç olarak daha yüksek verim ve daha az atık elde edilir.
Enerji tüketimi
Hızlı tepki vermesi ve kısa süreli kullanımı sayesinde enerji tüketimi azalır. Ayrıca lambaların sık sık değiştirilmemesi, temiz odadaki bakım işlemlerini de azaltır. Sıcaklık artık kontrol edilmesi gereken bir parametre olmadığında, işlem için daha fazla esneklik sağlanır.
Dikkat edilmesi gerekenler
Montaj işlemi, spin koaterın mekanik arayüzüne ve kontrol sinyallerine uyum sağlamayı gerektirir. Modifikasyon kiti ise platforma ve konektör tipine göre değişir.
Lambanın hassasiyeti
Lamba, soğutma havası akışına ve sıcak noktaların yönetimine oldukça hassastır. Hava akışını belirlenen şekilde tutmak ve kuvarsi düzenli olarak temizlemek önemlidir. Lamba değiştirildikten sonra, pişirme kurvusunu sabitlemeden önce kısa bir ısınma süresi tanınmalıdır.