Kesim Süresini Kısaltmak: Neden Vakumlu Kızılötesi Isıtıcılar Daha İyidir?
Eğer yarı iletkenlerin derin işlemleriyle uğraşıyorsanız, her saniyenin kaybedilmesinin para kaybı anlamına geldiğini biliyorsunuzdur. Birçok kişi başlangıçta sıcak hava kullanır; ancak kesim sürelerini gerçekten azaltmak istiyorsanız, vakuma uyumlu kızılötesi ısıtıcıları tercih etmelisiniz.
Zorunlu konveksiyon yönteminde sorun şu: Isının wafta ulaşması için bir gaz ortamına ihtiyaç vardır. Peki ya vakum altında? Orada hava yoktur. Var olmayan bir şeyi nasıl hareket ettirebilirsiniz ki? Bu fiziksel olarak mümkün değildir.
Aracıyı ortadan kaldırma
İşte burada kızılötesi ısıtıcılar devreye giriyor. Havanın ısınmasını beklemek yerine, kızılötesi ısıtıcılar elektromanyetik radyasyon kullanır. Fotonlar doğrudan substrata ulaşır. Bu yöntem çok hızlıdır.
Artık odanın içindeki havayı ısıtmak için zaman kaybetmenize gerek kalmaz. Dakikalarca beklemek yerine, hazırlık süresi saniyelere iner. Waflar neredeyse anında istenen sıcaklığa ulaşır ve üretim hızınız artar.
Temizliği sağlama
Ancak herhangi bir ısıtıcıyı vakum ortamına yerleştiremezsiniz. Standart ısıtıcılar genellikle sızıntı yapar veya gaz salgılar; bu da temiz oda ortamlarında büyük bir sorundur. Biz bunu, vakum basıncına dayanıklı özel kuvars kaplamalar ve contalar kullanarak çözüyoruz. Ayrıca, aşırı ısındıklarında duman çıkarmayan veya parçacık üretmeyen yüksek saflıkta malzemeler kullanıyoruz. Böylece vakum ortamı stabil kalır ve waflar zarar görmez.
Tercihler ve dezavantajlar (çünkü hiçbir şey mükemmel değildir)
Kızılötesi ısıtıcıların sihirli bir çözüm olduğunu söylemeyeceğim. Enerji transferi çok hızlı olduğu için, eğer PID kontrol sistemi düzgün çalışmazsa hedef sıcaklığı aşmak kolaydır. Bu yüzden durumu kontrol altında tutmak için hızlı tepki veren termokupllar veya pirometreler kullanmalısınız. Ayrıca soğutma sistemine de dikkat etmelisiniz. Eğer soğutma sistemi yetersizse, radyatif ısı odanın duvarlarına işleyebilir ve sensör okumalarını bozabilir.
Ancak bunları hassas bir güç kontrol cihazına bağladığınızda avantajlar çok büyük olur. Daha düzenli termal gradyanlar elde edilir ve ekipmanın boyutları da azalır. Böylece ağır fanlar ve karmaşık boru sistemleri ortadan kalkar ve laboratuvarınızda daha fazla alan kazanırsınız.