Üretim tesislerinde, yumuşak fırınlarda meydana gelen 1°C’lik sıcaklık değişiklikleri ihmal edilebilecek kadar küçük değildir. Bu tür değişiklikler ürün verimliliğini olumsuz etkiler. Waferlerin kurutulması, fotoresistlerin önceden ısıtılması ve maruz kalma sonrası işlemler, çok hassas sıcaklık kontrolü gerektirir. İşte bu yüzden üretim ısıtıcılarımızı Çin’de üretiyoruz: Yarı iletken üretim süreçleri için tasarlanmış, pazarlama amaçlı kullanılmayan kısa dalga boyundaki IR ısıtıcılar üretiyoruz.
Teknik açıdan önemli olanlar IR modüllerimiz, waferin tamamında ±0,1°C’lik sıcaklık tutarlılığı sağlar; ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C civarındadır. Hızlı ısınma oranları, sıcaklık profillerini daha da iyileştirir. Ayrıca, partikül üretiminin olmaması sayesinde Class 1–100 ortamlarında partikül sayıları sabit kalır. Kuvars-halojen elemanlar, istikrarlı spektral çıktı sağlar; böylece fotoresistlerin emilimi sabit kalır. Isıtıcı gövdesi ise vakum ve iners gaz ortamlarıyla uyumludur. Güç yoğunluğu, ısıtıcı kabuğuna değil, substratın termal kapasitesine göre belirlenir; böylece süreçte sadece sıcaklık dikkate alınır.
Neden pratikte işe yarar? Litografi işlemlerinde, yumuşak fırın sıcaklığı doğrudan fotoresistin viskozitesini ve filmin kalınlığını belirler. IR teknolojimiz bu parametreleri standartlar dahilinde tutar; böylece CD varyasyonları ve diğer sorunlar en aza indirgenir. Islak temizlik işlemlerinden sonra waferlerin hızlı ve eşit şekilde ısıtılması, desenlerin bozulmasını ve su izlerinin oluşmasını engeller. Ayrıca IR ısıtıcılar waferleri doğrudan ısıttığı için enerji tüketimi azalır. Bu cihazlar 7/24 çalışabilir ve bakım gerektirmez; saha verilerine göre 5.000 saatten fazla çalıştıklarında bile verimlilik kaybı %5’in altındadır.
Planlamanız gerekenler Bu ısıtıcılar için özel ve düzenlenmiş bir güç kaynağına ihtiyaç vardır. Ayrıca her işlem katmanı için hassas emisivite kalibrasyonu gereklidir. Eski fırınlara bunları yerleştirmek kolaydır; ancak termal kapasitedeki herhangi bir değişiklik, doğru ısıtma eğrisini elde etmek için kısa bir ayarlama süresi gerektirebilir. Pilot üretimlere geçmeden önce, 100 saatlik bir test ve temel ölçümler yapılmalıdır.