Пластина попадает на спин-трек, и начинается отсчёт времени. На линии одна минута дрейфа температуры способна сдвинуть критическое размерное значение, а одна частица может погубить всю партию. Старые сушилки не обеспечивали необходимую равномерность по всей толщине 300 мм при сохранении чистоты. Мы разработали сушилку Uniform Heating Wafer Dryer, чтобы устранить эту вариабельность.
Что важно внутри
Внутри коротковолновые инфракрасные излучатели размещены в отражательно оптимизированной камере для обеспечения тепловой равномерности пластины на уровне ±0.1°C по площади 300 мм, подтверждённой калиброванной 9-точечной картой. Температурные нарастания превышают 10°C/с с контролируемым превышением, что гарантирует соответствие теплового бюджета рецептам мягкой и жёсткой выпечки без перезагрева фоторезиста.
Аппарат предназначен для использования в чистых зонах: класс чистоты 1–100, интегрированный HEPA-фильтрированный воздушный поток, фильтрация выхлопа и материалы с низкой эмиссией газов, что исключает образование частиц во время цикла. Контур управления – PID с разрешением установки параметра 0.05°C, рецепты могут быть сохранены для каждого технологического процесса. Такая повторяемость поддерживает параметры CD и профиля в пределах спецификаций из смены в смену.
Почему он востребован на литографическом участке
В литографии профиль выпечки должен оставаться неизменным как в 02:00, так и в 14:00. Эта сушилка обеспечивает стабильность установленной температуры при загрузке, что гарантирует равномерность нагрева в зоне прямой видимости и, соответственно, стабильное сцепление фоторезиста и прогнозируемое удаление кромочной бусинки. Нарастание температуры быстрое и контролируемое, что сокращает время цикла без снижения выхода годной продукции, а низкий уровень генерации частиц уменьшает дефекты – меньше доработок и меньше списанных партий.
Массив излучателей работает эффективно, а интеллектуальные режимы ожидания снижают энергопотребление. Надёжность обеспечивается круглосуточной непрерывной работой с плановым техническим обслуживанием, а не внеплановыми простоями.
Что следует учесть при планировании
Установка требует выделенного вытяжного патрубка и электропитания уровня класса для чистых помещений — для поддержания ресурса излучателей и стабильности управления. Камера оптимизирована под пластины диаметром 150 mm и 300 mm, поэтому необходимо убедиться, что поддоны и интерфейсы соответствуют автоматике передачи.
Запланируйте квалификационный прогон продолжительностью 48 часов для построения карты температуры, подсчёта частиц и анализа поведения температурного нарастания с учётом конкретного стека фоторезистов. После достижения точного соответствия процесс остаётся контролируемым.