Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в процессе обработки полупроводников
Если вы по-прежнему используете горячий воздух для нагрева материалов, вероятно, вы тратите слишком много времени на ожидание. В процессе глубокой обработки полупроводников это время ожидания становится серьезной проблемой – оно замедляет весь процесс.
Переход на использование инфракрасного нагрева не означает покупку дорогостоящего нового оборудования. Это способ вернуть себе потраченное время.
Проблемы, связанные с использованием воздуха
Подумайте, как работает горячий воздух: сначала нагревается сам воздух, а затем он нагревает поверхность материала. Это как посредник – а посредники работают медленно.
Инфракрасный нагрев работает иначе: он использует электромагнитное излучение для непосредственного нагрева материала. Никаких посредников, никакого ожидания, пока воздух нагреется. В системах, которые мы создаем, скорость нагрева в 5–10 раз выше, чем в старых системах с использованием горячего воздуха. Это очень быстро.
Как сделать устройство для нагрева
Нельзя просто поместить инфракрасный нагреватель в картонную коробку и считать, что все готово. Особенно это касается чистых комнат.
Мы изготавливаем корпуса нагревателей из высококачественной нержавеющей стали. Это сохраняет чистоту – нет выбросов газов, нет коррозии. Но есть еще один секрет: корпус на самом деле является зеркалом. Мы тщательно продумываем его внутреннюю структуру, чтобы каждый фотон отражался обратно на поверхность материала. Если угол отклонения составляет хотя бы несколько градусов, это приводит к расточительству энергии и потере тепла.
Преимущества и способы решения проблем
Инфракрасный нагрев работает быстро и эффективно. Нельзя просто заменить им старую систему с использованием горячего воздуха и ожидать, что все будет работать идеально. Если материал не может выдержать резкий скачок температуры, он может треснуть. Чтобы этого избежать, мы используем контроллер PID для программирования постепенного увеличения мощности нагрева. Это как регулятор яркости – мы постепенно увеличиваем температуру, чтобы материал не подвергался стрессу.
Что это дает в реальности
Когда вы перестаете беспокоиться о объеме воздуха и начинаете использовать излучательную энергию, происходят две вещи. Во-первых, время предварительного нагрева значительно сокращается. Это означает, что вы можете обработать гораздо больше единиц продукции в час. Во-вторых, размеры оборудования уменьшаются. Поскольку не требуется использование больших помещений для циркуляции воздуха, вся установка становится меньше. Таким образом, вы получаете большую производительность без необходимости изменять конструкцию помещений или арендовать больше места.