На этапе литографии даже небольшое смещение температуры во время процесса нагрева фотополимера может привести к изменению его критических размеров на уровне нанометров. Такие отклонения приводят к необходимости повторной обработки материала, потере продукции и нарушению заданных параметров. Мы разработали специальные лампы для нагрева фотополимера, чтобы обеспечить стабильность температуры в течение всего процесса.
Что важно при работе?
Мы используем излучатели с коротковолновым инфракрасным излучением, которые быстро нагревают фотополимер напрямую. Температура остается стабильной в диапазоне от 50°C до 250°C. Равномерность нагрева по всей площади пластины составляет ±0,1°C, а повторяемость — ±0,5°C между разными партиями продукции. Устройства соответствуют стандартам чистых помещений от класса 1 до класса 100; используемые компоненты минимизируют выделение газов и образование частиц. Температура измеряется и записывается в реальном времени, что позволяет связать каждый цикл обработки с конечным результатом с использованием точных данных.
Почему это работает эффективно?
Лампы обеспечивают выполнение всех ключевых этапов нагрева — сушку пластины, нагрев фотополимера — без перегрева. Процесс нагрева происходит быстро, поэтому время цикла сокращается, при этом не нарушается температурный режим фотополимера. Узкий спектр излучения позволяет снизить температуру поверхности подложки, тем самым защищая находящиеся под ней слои. Это приводит к уменьшению количества дефектов, снижению объема списанной продукции и возможности контроля за размерами, профилем и количеством остаточных растворителей. Потребление энергии снижается, так как тепло расходуется на нагрев фотополимера, а не на оборудование или помещение.
Некоторые особенности использования
Интенсивность излучения NIR снижается с увеличением расстояния, поэтому расстояние между лампой и поверхностью пластины должно быть фиксированным и стабильным. Перед каждой процедурой необходимо провести краткую подготовку оборудования. Убедитесь, что материал чехла и геометрия отражателя соответствуют температурным характеристикам лампы. Интеграция устройства в существующую систему происходит легко, но необходимо учитывать потребности в механической инфраструктуре и системах охлаждения.