Het veilig houden van de omgeving wanneer je wafers behandelt in chemische omgevingen
Het behandelen van wafers vereist veel warmte. Maar als je deze lampen naast de stations voor chemische reiniging plaatst, ontstaan er problemen. Er zijn overal vluchtige stoffen, en het laatste wat je wilt, is dat een vonk ervoor zorgt dat je werkplek in brand komt.
Daarom leggen we veel nadruk op het goed afsluiten van de lampen en het voorkomen van warmtestraling. Het gaat niet alleen om de warmte zelf, maar ook om te voorkomen dat de warmte ergens anders terechtkomt dan waar het nodig is.
Het voorkomen van gevaar
Het gebruik van lampen in een ruimte vol brandbare chemicaliën is eigenlijk een risicovolle situatie. We nemen dat risico niet. In plaats daarvan gebruiken we hermetisch afgesloten verbindingen, zodat de elektrische onderdelen volledig worden beschermd tegen de lucht. We gebruiken ook afdichtingen die niet beschadigen wanneer ze in contact komen met corrosieve stoffen. Dit voorkomt dat de chemicaliën de isolatie beschadigen of dat er een kortsluiting optreedt.
Een tip: zorg ervoor dat je apparaat goed geaard is. Statische lading kan in deze omgevingen gevaarlijk zijn, dus vergeet deze stap niet.
Het richting geven aan de warmte
Als je geen goede reflectoren hebt, gooi je de helft van de energie zinloos weg. We gebruiken reflectoren gemaakt van hoogzuiver aluminium of verguld metaal, zodat de infrarode straling rechtstreeks op de wafers terechtkomt. Hierdoor blijft de warmte precies waar het nodig is en wordt de rest van het apparaat niet te heet.
Houd je reflectoren in de gaten. Als ze beschadigd raken of uit hun positie komen, kun je ‘koude plekken’ op de wafers zien. Dit zal ertoe leiden dat het behandelen van de wafers niet goed verloopt.
Het compromis: warmte versus veiligheid
Het probleem is dat lampen met hoge intensiteit ontzettend heet kunnen worden. Hoewel het afsluiten van de lampen het risico op explosies verminderd, zorgt het er ook voor dat de warmte rondom de lamp blijft hangen. Je kunt ze niet zomaar achterlaten zonder ze te koelen. Je moet ervoor zorgen dat er voldoende koeling is, bijvoorbeeld met behulp van ventilatoren of vloeistofkoeling.
Als je dit niet doet, zullen de afsluitingen uiteindelijk beschadigen, waardoor de veiligheid in gevaar komt. Ik raad aan om de afsluitingen om de zes maanden te controleren. Het kost maar een paar minuten, maar het voorkomt een complete systeemstoring en wekenlang onverwachte stilstand.