Di bilik pengeluaran, suhu bukanlah faktor yang mempengaruhi keselesaan, tetapi ia merupakan sebahagian daripada proses pengeluaran itu sendiri. Perubahan suhu sebanyak beberapa persepuluh darjah pun boleh mengganggu ketebalan lapisan epitaksia, mengubah profil doping, dan merosakkan keseluruhan proses pengeluaran. Pemanas GaN MOCVD direka untuk mengurangkan ketidaktentuan suhu tersebut.
Apa yang penting dalam reka bentuknya
Pemanas ini menggunakan pancaran inframerah gelombang pendek (SWIR) bersama-sama dengan struktur termal berasaskan kuarsa yang direka untuk memberikan tindak balas yang cepat dan stabil. Ini memastikan suhu di permukaan wafer kekal pada tahap ±0.1°C, manakala ketepatan suhu pula berada dalam lingkungan ±0.5°C antara setiap kumpulan wafer yang diproses. Kelajuan penyesuaian suhu boleh mencapai 20°C/s, jadi bilik pengeluaran dapat mencapai kestabilan dengan cepat tanpa melebihi had suhu yang ditetapkan. Unit ini sesuai digunakan dalam makmal bersih kelas 1–100. Reka bentuk yang efisien ini juga membantu mengurangkan penghasilan zarah-zarah berbahaya setelah proses berjalan secara stabil. Kuasa yang diperlukan boleh disesuaikan kepada 3-fasa 400 VAC, dan antaramuka yang digunakan menyokong sambungan alat MOCVD biasa, jadi ia boleh digunakan tanpa perlu membuat perubahan reka bentuk.
Mengapa ia sesuai untuk kegunaan pengeluaran
Dalam proses epitaksia GaN, pemanas ini membantu menstabilkan zon reaksi dengan cepat, sehingga proses pengeluaran berjalan seperti yang dirancang setiap kali. Prinsip yang sama juga digunakan dalam proses litografi, di mana ia sangat penting untuk proses pemprosesan fotorezist. Proses pemanasan yang dilakukan dengan cepat membolehkan suhu mencapai tahap yang ditetapkan dalam masa beberapa saat sahaja, sekali gus mengurangkan variasi lebar garisan dan meningkatkan kadar pengeluaran. Selain itu, penggunaan pemanas ini juga membantu menjimatkan tenaga, kerana suhu dapat dikekalkan tanpa melebihi had yang ditetapkan. Kebolehpercayaan unit ini sangat tinggi, kerana ia dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan.
Apa yang perlu dipastikan
Pemanas ini akan berfungsi dengan lebih baik apabila geometri bilik pengeluaran sesuai dengan pola aliran gas yang ditetapkan. Jika alat penggantian digunakan tanpa menyesuaikan semula profil termal, maka ketepatan suhu akan terjejas. Semasa pemasangan, perlu memastikan kuasa dan sistem kawalan alat tersebut disesuaikan dengan betul. Kami sentiasa mengesyorkan agar ujian pendek dilakukan selepas pemasangan untuk memastikan segala tetapan berfungsi dengan baik. Setelah segalanya disesuaikan, proses pengeluaran akan berjalan secara konsisten dari masa ke masa.