생산 현장에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 많은 양의 제품이 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서 예측이 아닌, 신뢰할 수 있는 열공급이 필요합니다. 우리는 TEL 표준에 부합하는 히터 램프를 개발했습니다. 이 램프는 깨끗하게 작동하며, 나노미터 단위로 정확한 온도 제어가 가능합니다.
내부 구조 단파 적외선 소자와 고순도 석영 부품을 사용하여, 공정 중에 노이즈가 발생하지 않으면서도 빠른 반응 속도를 보여줍니다. 가열 면 전체에서 웨이퍼의 온도 균일성은 ±0.1°C 이내로 유지됩니다. 이는 제한된 열량 조건 하에서도 안정적인 가열이 가능함을 의미합니다.
5,000시간 이상 사용해도 출력 성능은 안정적이며, 강도 저하율은 5% 미만입니다. 표준 전압으로 작동하며, 일반적인 램프 모듈과도 호환됩니다. 또한, 입자 오염 수준도 Class 1–100 등급의 클린룸 기준을 충족합니다.
리소그래피에서의 중요성 리소그래피에서는 가열 온도가 CD 정밀도와 결함 밀도를 결정하는 핵심 요소입니다. 이 램프는 로트 간의 온도 변동을 최소화하여 재작업을 줄이고 생산성을 높입니다. 높은 적외선 효율과 낮은 대기 전력 소모 덕분에 비용도 절감됩니다. 긴 수명 덕분에 예비 부품 및 유지보수 비용도 줄어듭니다. 그 결과, 예측 가능한 공정 진행과 적은 생산 중단 시간, 그리고 신뢰할 수 있는 포토레지스트 성능을 얻을 수 있습니다.
올바른 설치 방법 설치 시에는 호스트 램프 모듈의 기계적 구조와 연결 단자를 정확히 맞춰야 하며, 광학 경로도 원래의 허용 오차 범위 내에서 정렬해야 합니다. 이 램프는 지정된 TEL 플랫폼에 적합한 제품이지만, 설치하기 전에는 챔버의 구조와 제어 프로그램을 확인하여 전체적인 호환성을 검증해야 합니다.